エアシャワー · 用途別
半導体・精密加工工場のエアシャワー｜HEPAの効率、吹出部の清浄度、ノズル方式、除電、台数の保守
半導体・液晶・精密加工の工場に置くエアシャワーを、HEPAの効率と吹出部の清浄度の表示、ノズル方式の違い、静電気への対策、台数が多い工場の保守と遠隔監視、多人数の入室、クリーンルームとの一体計画の観点から、掲載メーカーの公式記載で整理します。
半導体や精密加工の工場では、目に見えない微粒子がそのまま不良につながります。ここでは、精密な工場の入口に置くエアシャワーを選ぶときの論点を、メーカーの公式な数値をもとに整理します。
精密工場の入口に求められること
食品工場では毛髪が主な対象ですが、精密工場では細かい粒子と静電気、そして多数の機械の管理が課題になります。メーカーの記載から、求められる性能を並べます。
- 細かい粒子まで捕まえるフィルター（HEPAの効率の数字）
- 体の広い範囲に当たるノズルと風速
- 粒子を再付着させない静電気対策
- 台数が多くても目詰まりや故障を見落とさない保守
- 交代時に大勢が通っても列にならない形
HEPAの効率と吹出部の清浄度
精密向けの機種は、HEPAの効率や吹出部の清浄度を数値で公開していることが多くあります。並べると次のとおりです。
| メーカー・型 | フィルター | 清浄度・風速の記載 |
|---|---|---|
| 日立産機システム PCJ-88JJM4 | HEPA（0.3µm粒子にて99.99%以上） | 気流吹出部でISOクラス5（室内は保証外）、25／30m/s±20% |
| 日本エアーテック EAS・18型 | HEPA（0.3μm粒子にて99.99%以上） | 約25m/s |
| オリエンタル技研工業 RLSA | HEPA | 吹出口清浄度ISO 5（クラス100）、23m/s |
| トヨシマ電機 標準 | HEPA（99.97%以上） | 23m/sec以上 |
| 伸榮産業 | HEPA（0.3µmで99.97%以上） | 記載なし |
日立産機システムは、ISOクラス5は気流吹出部での値で、室内清浄度は保証外と明記しています。エアシャワーの中全体の清浄度が必要なら、その条件を別に伝えてください。
ノズル方式の違い
同じ風速でも、ノズルの形で体への当たり方が変わります。精密向けに独自のノズルを持つ会社があります。
| 方式 | メーカー | 公式の説明 |
|---|---|---|
| フラッタージェットノズル | 日立産機システム | 可動部分のない固定式で、振動ジェット気流を発生させる。着衣に振動を与える叩き効果があると説明（当社比） |
| パルスジェットノズル | 日本エアーテック | 自社開発で特許取得済み。EAS・18型は18個のうち4個 |
| パンカーノズル | 蒲田工業、コトヒラ工業ほか | 向きを調整できる吹出口。蒲田工業は片吹き8個・両吹き16個 |
静電気への対策
衣服が帯電していると、落とした粒子が再び付いてしまいます。エアシャワーに除電の機能を持たせた型があります。
- コトヒラ工業 KAS-IP08: イオナイザー付の2列タイプ。クリーンエアとイオンを吹き付け、衣服や人体に帯びた静電気を除去して塵埃を落ちやすくすると説明
- 伸榮産業: 集塵式除電ブロー装置・集塵式除電エアーガンもあわせて製造
帯電が問題になる工程では、エアシャワー単体で解決しようとせず、作業着や床の帯電対策と組み合わせて考えてください。メーカーに相談するときは、どの工程で静電気が問題になっているかを伝えます。
台数が多い工場の保守
エアシャワーが何台も並ぶ工場では、どの機械のフィルタが詰まっているかを見落としがちです。保守を仕組みで支える機能があります。
| 機能 | 内容（日立産機システムの公式記載） |
|---|---|
| 風速インジケータ | 目詰まりで風速が遅くなるとフィルタ交換を知らせる |
| FitLive（オプション） | HEPAの目詰まり、異常状態、ファンモータやドア開閉部品のメンテナンス時期を画面表示とメールで通知 |
| コンタクトサービス | 機能維持に重要な警報・異常をメーカーから連絡（平日9:30〜16:30、11:30〜13:30を除く） |
| メンテナンスパック | 整備内容で変わっていたメンテナンスコストを平準化 |
FitLiveは既設のフラッタージェットシリーズにも適応できるとしていますが、一部対象外の機種があると注記しています。ほかのメーカーでは、三共空調が風速測定などの検査を承ると書いています。
大勢が入る工場の形
精密工場も、交代時に大勢が一度に入室します。多人数向けの形を持つ会社を並べます。
- 日本エアーテック: 2連型、1500ユニット型
- ホクト総研: 2連・3連式
- 蒲田工業: ウォーキングエアシャワーの設計事例
- パイオニア風力機: RD-SEZ2は10分あたり100〜150人、3〜4台の直列も可能
クリーンルームと一緒に計画する
精密工場のエアシャワーは、クリーンルームの一部として計画されることが多い設備です。クリーンルームの設計施工も行う会社なら、室圧や動線と合わせて入口を決められます。
| メーカー | クリーンルーム側の対応（公式記載） |
|---|---|
| 蒲田工業 | クリーンルームの設計・製作・施工。精密機器工場のクリーンルームを必要レベルで施工 |
| オリエンタル技研工業 | クリーンルームの設計から施工・メンテナンスまで提供 |
| 三興エンジニアリング | クリーンルームのほか電気設備・機械設備工事 |
| トヨシマ電機 | クリーンルーム設備工事。エアシャワーはクリーンブースにもクリーンルームにも設置可能 |
吹付け時間と入室の待ち時間
吹付け時間を長くすれば除塵の効果は上がりますが、入室の列は長くなります。設定範囲と通過人数を公式に載せている例を並べます。
| メーカー・型 | 公式の記載 |
|---|---|
| 日立産機システム | エアジェット時間8〜900秒（標準8秒）、クリーンアップ時間0〜99秒 |
| 蒲田工業（一般的な目安として紹介） | 風速23m/s以上、吹付け時間15〜20秒 |
| パイオニア風力機 RD-SET・RD-SEZ | 通過人数10分間あたり30〜60人 |
| パイオニア風力機 RD-SEZ2 | 通過人数10分間あたり100〜150人 |
交代時の人数と、1人あたりに必要な吹付け時間から、必要な台数や型が逆算できます。メーカーには、ピーク時に何分で何人が入るかを伝えてください。
今ある機械を生かす
精密工場には、すでにエアシャワーが何台もあることが多いはずです。全部を買い替えずに更新する方法もあります。
- 日立産機システム: リニューアルキットの製品ページを持つ。FitLiveは既設のフラッタージェットシリーズにも適応（一部対象外）
- 愛豊工業: 既設エアシャワーの入れ替え・改造・移設・制御盤更新に対応し、他メーカー製にも対応
- 三共空調: 風速測定などの検査を承り、交換の判断材料にできる
メーカーに出す条件
精密工場の見積では、清浄度と運用の条件を数値で伝えるほど、各社の提案が比べやすくなります。最初の問い合わせに入れたい条件を並べます。
- 入口の先の部屋の清浄度の目標と、測る場所（吹出部か室内か）
- 必要なフィルターの効率（0.3μm粒子で何%か）
- ピーク時の入室人数と、1人あたりの吹付け時間
- 静電気の対策が要る工程があるか
- 台数と、保守の方法（自社で点検するか、遠隔監視を使うか）
同じ条件を各社に送れば、ノズル方式やフィルターの違いが提案の差として見えてきます。数値で答えられない会社には、カタログの該当ページを示してもらってください。
精密工場向けに候補を絞る順番
精密工場では、数値の公開度が候補選びの手がかりになります。次の順番で絞ると、比べる軸がぶれません。
- 必要なフィルター効率と、清浄度を測る場所（吹出部か室内か）を決める
- HEPAの効率と風速を公開している会社（日立産機システム、日本エアーテック、オリエンタル技研工業など）から比べる
- 静電気が問題ならイオナイザー付き（コトヒラ工業KAS-IP08）を検討する
- 台数が多ければ、目詰まりの通知や遠隔監視（日立産機システムFitLive）を比べる
- クリーンルームの工事と一緒に頼むかを決める
この記事に出てくるメーカー
- 愛豊工業株式会社現場条件が厳しいなら
- 日本エアーテック株式会社型式の幅で選ぶなら
- 株式会社日立産機システム台数が多い工場の保守なら
- 株式会社ホクト総研価格から比べるなら
- 蒲田工業株式会社クリーンルームと一緒に作るなら
- コトヒラ工業株式会社後付けと食品工場なら
- オリエンタル技研工業株式会社研究施設をまとめて作るなら
- 株式会社パイオニア風力機通過人数で選ぶなら
- 株式会社三興エンジニアリング設備工事と一緒に頼むなら
- 三共空調株式会社食品工場の動線から作るなら
- 伸榮産業株式会社ブースと一緒にそろえるなら
- トヨシマ電機株式会社ブースとセットで入れるなら
参照元
よくある質問
エアシャワーのISOクラス5は部屋全体の清浄度ですか？
多くは吹出部での値です。日立産機システムはISOクラス5を気流吹出部での値とし、室内清浄度は保証外と明記しています。オリエンタル技研工業も吹出口清浄度と書いています。
静電気を取るエアシャワーはありますか？
コトヒラ工業のKAS-IP08はイオナイザー付の2列タイプで、イオンを吹き付けて衣服や人体の静電気を除去すると説明しています。
エアシャワーのフィルター交換時期を遠隔で知る方法はありますか？
日立産機システムのFitLive（オプション）は、HEPAの目詰まりや部品のメンテナンス時期を画面表示とメールで知らせます。既設のフラッタージェットシリーズにも適応できますが、一部対象外の機種があります。
【用途別】エアシャワーメーカーおすすめ3選
食品工場で、毛髪と異物を入口で落とすなら
三共空調株式会社
中性能かHEPAかを選べ、人数・動線・コンベアに合わせてオーダーメイド
メインフィルタを制菌防カビ仕様の中性能とHEPAから選べ、一般的な食品工場で毛髪やまゆ毛を対象にする場合は中性能＋プレフィルタを勧めている。三方向吹きが標準で、1連1人〜3連3〜5人の連結目安、扉のない多人数仕様、ローラー・ベルト・チェーンに合わせたコンベア対応型まで公式に載せている。
半導体・精密加工で、台数が多く保守まで管理したいなら
株式会社日立産機システム
振動気流のフラッタージェットノズルと、目詰まりを知らせるIoTのFitLive
可動部のない固定式ノズルで振動ジェット気流をつくる新型フラッタージェットノズルを搭載し、PCJ-88JJM4はHEPA（0.3µm粒子にて99.99%以上）、ノズル21個、風速25／30m/s±20%、気流吹出部でISOクラス5を公開している。オプションのFitLiveはHEPAの目詰まりや部品交換の時期を画面とメールで知らせる。
医薬・研究施設で、人用とパスボックスを1社でそろえるなら
日本エアーテック株式会社
高級型から簡易型まで型式が並び、バイオハザード対策型パスボックスもある
エアーシャワーは高級型・標準型・普及型・簡易型に、自動ドア付、シートシャッター付、L型/T型、2連型、除菌型まで型式がある。標準型EAS・18型はHEPA（0.3μm粒子にて99.99%以上）、約25m/s、ノズル18個を公開。パスボックスは高級型・標準型・普及型に加え、バイオハザード対策型とシャワー型、エアーナイフ型がある。
現場に合うエアシャワーを、無料で相談する
業種と落としたいもの（毛髪・微粒子・菌など）、1日に通る人数、台車やコンベアの有無、設置場所の寸法と電源を送っていただくと、編集チームが条件に合う掲載メーカーへ匿名で概要を伝え、見積の窓口をおつなぎします。費用はかかりません。