位置決めステージ
位置決めステージの基礎知識
駆動方式の違い、精度の用語（繰返し位置決め精度・分解能・真直度）の読み方、真空・クリーン環境での注意点、特注の頼み方を、掲載メーカーの公式情報をもとに解説します。
- 位置決めステージの精度の読み方｜繰返し位置決め精度・分解能・位置決め精度・真直度・ロストモーション【2026年版】位置決めステージのカタログには、繰返し位置決め精度、分解能、位置決め精度、真直度、ロストモーションなど、似た言葉が並びます。掲載メーカーの公式仕様を例に、それぞれの意味と、比べるときの注意点を整理しました。2026年10月1日
- 位置決めステージの特注とカスタマイズの頼み方｜標準品の改造から1品の設計まで【2026年版】位置決めステージは標準品で足りない場合、改造や特注で対応する方法があります。掲載メーカーの公式情報から、標準品の改造でできること、特注の進め方、見積の前に伝える情報を整理しました。2026年10月1日
- 位置決めステージの駆動方式の違い｜ボールねじ・リニアモータ・ピエゾ・超音波モータ・手動を比べる【2026年版】位置決めステージは、駆動方式でストローク、速度、止められる細かさが大きく変わります。掲載15社の公式情報から、ボールねじ、リニアモータ、ピエゾ、超音波モータ、手動の5つの方式の特徴と、向く用途を整理しました。2026年10月1日
- 真空チャンバーとクリーンルームで使う位置決めステージ｜グリース・アウトガス・発塵の確認点【2026年版】真空中やクリーンルームで位置決めステージを使うときは、大気中とは違う条件を確かめる必要があります。掲載メーカーの公式情報から、真空対応の方法、到達圧力の考え方、クリーン仕様の中身と限界を整理しました。2026年10月1日
【用途別】位置決めステージメーカーおすすめ3選
標準品を、精度の数字と価格で比べて選ぶなら
中央精機株式会社
高精度高剛性ステージは繰り返し精度±0.0005mm。手動から自動まで仕様と価格を製品ページに掲載
手動ステージ（X・XY・Z・回転・傾斜など）と自動ステージ（アライメント・マイクロスキャニング・クロスローラほか）を標準品でそろえる。高精度高剛性ステージALS-903-H1S-BKは移動量±15mm、ボールねじ駆動、分解能0.002mm、繰り返し精度±0.0005mmと公式に記載。FAQで真空はグリース変更等、クリーンルームはクリーングリス仕様で対応可能、特注は検討可能と回答。
真空チャンバーや放射光の実験で動かすなら
神津精機株式会社
真空対応位置決めステージを標準でそろえ、SPring-8や高エネ研などへの納入実績
精密・自動・手動のX/XY、Z、回転、スイベル、アライメントに加え、真空対応位置決めステージを持つ。FAQで、通常の中・高真空環境なら1×10-3Paまでまず問題なく到達し、環境によっては10-5Pa台の実績と説明。自動ステージは全数精度測定し実力値を公開。主要納入先にSPring-8、高エネルギー加速器研究機構、理化学研究所、東京エレクトロン、ディスコなど。
ナノメートル単位で動かす装置を、1品から特注するなら
THKプレシジョン株式会社
ピエゾステージは1nmの超高分解能をうたう。THKグループで、カスタマイズを1品から
圧電アクチュエータを利用した精密位置決め装置の開発・製造・販売を事業とし、超精密位置決めピエゾステージは1nmの超高分解能とミリ秒の高速応答をうたう。フォーカシングポジショナ、ミラーチルト、加工用ステージ、コアレスリニアモータのロングストロークステージもそろえる。日本製・自社開発のステージメーカーとして、カスタマイズを1品から設計製作すると公式に記載。