位置決めステージの精度の読み方｜繰返し位置決め精度・分解能・位置決め精度・真直度・ロストモーション【2026年版】

位置決めステージの精度は、1つの数字では表せません。どの数字を見るかを間違えると、必要な精度に足りないステージを選んでしまいます。

この記事では、中央精機の高精度高剛性ステージALS-903-H1S-BKの公式仕様を例に、精度の言葉を整理します。

1つのステージに並ぶ精度の項目

中央精機は、ALS-903-H1S-BKの仕様に精度に関わる項目をまとめて載せています。まずは実際の並びを見てください。

項目	公式の記載
移動量	±15mm
分解能	0.002mm
位置決め精度	0.002mm
繰り返し精度	±0.0005mm
ロストモーション	0.0005mm
移動精度（真直度）	水平・垂直0.0007mm
移動精度（ヨーイング・ピッチング）	4sec

同じステージでも、項目によって数字の桁が違います。必要なのはどの精度かを、用途から先に決めることが大事です。

分解能：1回で動ける最小の量

分解能は、制御の指令1つで動く最小の量です。ステッピングモータのステージでは、モータの1ステップと送りねじのリードで決まります。

• 中央精機ALS-903-H1S-BK: 分解能0.002mm（ボールねじリード1mm）
• テクノハンズの超音波モータステージ: 0.1／0.5／1.0／5.0μmから選択
• THKプレシジョンのピエゾステージ: 1nmの超高分解能をうたう
• ワイヤード: ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わると注記

分解能が細かくても、その位置に正確に止まるとは限りません。止まる位置の正しさは、次の位置決め精度と繰返し精度で見ます。

位置決め精度と繰返し精度の違い

位置決め精度は、指令した位置と実際に止まった位置の差です。繰返し精度は、同じ位置に何度も戻したときのばらつきです。

項目	意味	効いてくる用途
位置決め精度	指令値どおりの位置に止まるか	座標で測る、決められた間隔で動かす
繰返し精度	同じ位置に何度も戻れるか	同じ点を繰り返し加工・検査する

中央精機の例では、位置決め精度0.002mmに対して繰り返し精度は±0.0005mmです。同じ点に戻る用途なら、繰返し精度を優先して比べます。

パルスで書かれた精度の読み方

精度をmmやμmではなく、パルス数で書いているメーカーもあります。テクノハンズの超音波モータステージは、繰返し位置決め精度を±3pulseと記載しています。

• 分解能1.0μmの設定なら、1パルスが1.0μmに相当すると考えて換算する
• テクノハンズは、0.1μmを選んだ場合の繰返し位置決め精度は±5パルスと記載
• 換算した値はメーカーに確認し、仕様書の表記で比べる

単位がそろっていないと、正しく比べられません。比較表を作るときは、必ずmmかμmにそろえてください。

真直度とヨーイング・ピッチング：動いている間の精度

止まる位置の精度とは別に、動いている間にテーブルがまっすぐ進むかの精度があります。これが移動精度です。

• 真直度: 進む方向に対して、横や上下にどれだけずれるか（中央精機の例は0.0007mm）
• ヨーイング: 進みながら水平面内で首を振る角度
• ピッチング: 進みながら上下に傾く角度（中央精機の例は4sec）

テーブルの上にカメラやレンズを載せて離れた点を見る用途では、角度の誤差が先で大きなずれになります。光学系の用途では、角度の精度も確かめてください。

ロストモーションとバックラッシュ

ロストモーションは、行きと帰りで同じ位置に指令したときの差です。送りねじのすき間やたわみが原因になります。

• 中央精機ALS-903-H1S-BK: ロストモーション0.0005mm
• テクノハンズ: リニアモータのダイレクトドライブ構造でバックラッシュがないと説明
• 神津精機: 原点を検出する方向でドックの幅分のずれが出るとFAQで説明

往復で同じ位置に戻す用途では、片方向から近づける運転にすると、ロストモーションの影響を減らせます。原点の出し方も、メーカーの説明に沿って設定してください。

カタログ値と実測値を区別する

カタログの精度は、条件をそろえた試験での値です。実際の装置では、荷重や温度、取り付けで変わります。

メーカー	実測データに関する公式の記載
神津精機	自動ステージは標準検査項目を定めて全数精度測定し、実力値の平均を公開。出荷品はスペック内の精度保障範囲
コムス	自動ステージ全製品に検査成績書を無料添付。購入前に代表検査データの提供も可能
中央精機	標準付属品に検査合格証
ワイヤード	仕様は無荷重での値、分解能はドライバの駆動ステップ設定で変わると注記

要求が厳しい場合は、実測データを先に見せてもらうのが確実です。神津精機は、有償で測定値データを発行できるとFAQで答えています。

用途ごとに重視する精度の項目

どの精度を重視するかは、ステージで何をするかで決まります。代表的な用途と、見るべき項目を表にしました。

用途	重視する項目	理由
同じ点を繰り返し検査・加工	繰返し精度	毎回同じ位置に戻れるかが品質を決める
格子状に移動して観察・測定	位置決め精度	指令した座標どおりに並ぶ必要がある
カメラやレーザーで離れた点を見る	ヨーイング・ピッチング	角度の誤差が離れた点で大きなずれになる
往復しながら位置を合わせる	ロストモーション	行きと帰りで止まる位置が変わる
微小な送りで合わせ込む	分解能	動ける最小の量が細かさの上限になる

必要な項目が決まったら、その項目の数字が公式に出ているメーカーから比べます。数字がない場合は、検査データを求めてください。

精度を上げたいときの手段

標準品の精度では足りない場合、構造を変えて精度を上げる方法があります。公式に案内されている手段です。

1. リニアスケールを付けてフルクローズド制御にする（神津精機は改造で対応、日本トムソンTXはフルクローズドループ制御）
2. ねじの種類を変える（神津精機は分解能重視なら研削ネジ）
3. 剛性の高い材質を選ぶ（神津精機は鉄製とアルミ製で剛性が3倍違うと説明）
4. 特注ステージを作る（神津精機、THKプレシジョン、コムスなど）

どの手段も費用と納期が増えます。必要な精度を数字で決めてから相談すると、過剰な仕様を避けられます。