位置決めステージ · メーカー紹介
テクノハンズ株式会社
超音波モータとリニアモータのステージを自社製造。超小型ステージは分解能0.1μmから選択
編集部コメント超小型・超音波モータなら
向いている人 指先ほどの超小型ステージを装置に組み込みたい場合や、リニアモータで高速・長ストロークに動かしたい場合に向きます。モータからステージまで自社製です。
確認しておきたい点 価格は公式に記載がありません。超音波モータステージの推力は数十gf程度なので、重いワークには向きません。
テクノハンズ株式会社の位置決めステージ
テクノハンズは横浜市磯子区に本社を置く、モータとステージのメーカーです。1996年5月に設立し、回転型・リニアのDCブラシレスモータ、超音波モータ、モータドライバ、ステージ、エンコーダ、レーザー応用機器を開発・製造しています。
超音波モータを使った直動・XYステージは15機種で、分解能を0.1／0.5／1.0／5.0μmから選べ、無通電時もセルフロックで保持します。X軸ステージXDT70-155はストローク15mm、繰返し位置決め精度±3pulseと公式に記載しています。
リニアモータステージは、コイル可動型が最大加速度8G・最大速度5m/sec・最大ストローク5mまで製作可能でクリーンルーム仕様に対応し、マグネット可動型は完全クローズドループ制御で位置決め精度±0.2μmと記載しています。価格は公式に記載がありません。
テクノハンズ株式会社の特徴
超音波モータ直動・XYステージは全15機種。分解能0.1／0.5／1.0／5.0μmから選択、無通電時セルフロック保持
XDT70-155: ストローク15mm、分解能1.0μm、繰返し位置決め精度±3pulse、重量約14g
リニアモータステージ（コイル可動型）: 最大加速度8G・最大速度5m/sec、最大ストローク5m、クリーンルーム仕様対応
リニアモータステージ（マグネット可動型）: ハーネスレス、精密クロスローラガイド、完全クローズドループ制御、位置決め精度±0.2μm
ISO 9001・ISO 14001認証
超音波モータ X軸ステージは0.1μmを選択した場合、繰返し位置決め精度は±5パルスと記載
コイル可動型リニアモータステージはダイレクトドライブ構造でバックラッシュがなく高剛性・高精度
XDT35-045はテーブル18×22mm、重量約8g、ストローク4mm
レーザー微細加工用ビームローテータ、VCM（ボイスコイルモータ）、超小型光学反射式エンコーダTA-200
活躍分野に半導体製造装置、医療精密機器、光学・検査装置、自動車関連、研究・開発、電子部品製造
主な主な製品と仕様
| 主な製品と仕様 | 種類 | 備考 |
|---|---|---|
| 超音波モータ X軸ステージ XDT35-045〜XDT70-155 | 超音波モータ（TULA） | ストローク4〜15mm、繰返し位置決め精度±3pulse |
| X軸クロスローラガイドステージ XCWT70-105／155 | 超音波モータ | ストローク10mm／15mm |
| リニアモータステージ（コイル可動型） | リニアモータ | 最大加速度8G、最大速度5m/sec、最大ストローク5m |
| リニアモータステージ（マグネット可動型） | コアレスリニアモータ | 位置決め精度±0.2μm |
| VCMステージ／回転ステージ | ボイスコイルモータ・超音波モータ |
基本情報
| 所在地 | 〒235-0011 神奈川県横浜市磯子区丸山1-9-1 |
|---|---|
| 設立 | 1996年5月10日 |
| 資本金 | 4,800万円 |
| 電話 | 045-370-8010 |
| 駆動方式 | 超音波モータ、リニアモータ、ボイスコイルモータ |
| 真空対応 | 記載なし |
| クリーン対応 | コイル可動型リニアモータステージはクリーンルーム仕様対応 |
| 特注 | 最大ストローク5mまで製作可能（リニアモータステージ） |
| 価格の記載 | 記載なし（見積） |
| 公式サイト | https://www.technohands.co.jp/ |
まとめ
テクノハンズ株式会社の位置決めステージについて、公式サイトの記載をもとに整理しました。条件は案件ごとに異なるため、公式サイトから直接お問い合わせください。用途別のおすすめは3選ページでも紹介しています。
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参照元
- https://www.technohands.co.jp/about
- https://www.technohands.co.jp/products/ultrasonic-motor/linear-stage
- https://www.technohands.co.jp/products/motor/linear-motor-stage
※2026年10月1日時点の公式サイトの記載をもとに作成しています。掲載内容の訂正はこちら。
【用途別】位置決めステージメーカーおすすめ3選
標準品を、精度の数字と価格で比べて選ぶなら
中央精機株式会社
高精度高剛性ステージは繰り返し精度±0.0005mm。手動から自動まで仕様と価格を製品ページに掲載
手動ステージ（X・XY・Z・回転・傾斜など）と自動ステージ（アライメント・マイクロスキャニング・クロスローラほか）を標準品でそろえる。高精度高剛性ステージALS-903-H1S-BKは移動量±15mm、ボールねじ駆動、分解能0.002mm、繰り返し精度±0.0005mmと公式に記載。FAQで真空はグリース変更等、クリーンルームはクリーングリス仕様で対応可能、特注は検討可能と回答。
真空チャンバーや放射光の実験で動かすなら
神津精機株式会社
真空対応位置決めステージを標準でそろえ、SPring-8や高エネ研などへの納入実績
精密・自動・手動のX/XY、Z、回転、スイベル、アライメントに加え、真空対応位置決めステージを持つ。FAQで、通常の中・高真空環境なら1×10-3Paまでまず問題なく到達し、環境によっては10-5Pa台の実績と説明。自動ステージは全数精度測定し実力値を公開。主要納入先にSPring-8、高エネルギー加速器研究機構、理化学研究所、東京エレクトロン、ディスコなど。
ナノメートル単位で動かす装置を、1品から特注するなら
THKプレシジョン株式会社
ピエゾステージは1nmの超高分解能をうたう。THKグループで、カスタマイズを1品から
圧電アクチュエータを利用した精密位置決め装置の開発・製造・販売を事業とし、超精密位置決めピエゾステージは1nmの超高分解能とミリ秒の高速応答をうたう。フォーカシングポジショナ、ミラーチルト、加工用ステージ、コアレスリニアモータのロングストロークステージもそろえる。日本製・自社開発のステージメーカーとして、カスタマイズを1品から設計製作すると公式に記載。