真空チャンバーとクリーンルームで使う位置決めステージ｜グリース・アウトガス・発塵の確認点【2026年版】

真空チャンバーの中で試料を動かしたい、クリーンルームの装置にステージを組み込みたい。こうした用途では、大気中で使う標準品をそのまま入れると、真空が引けない、ゴミが出るといった問題が起きます。

この記事では、掲載メーカーの公式情報から、真空とクリーンで確かめる点を整理します。

真空・クリーンへの対応を公式に書いているメーカー

今回の15社のうち、真空かクリーンへの対応を公式に書いていたのは6社でした（製品サイトを取得できなかったシグマ光機は確認できていません）。対応の仕方はメーカーごとに違います。

メーカー	真空	クリーン
神津精機	真空対応位置決めステージ（専用品）	クリングリス仕様（型式に-C）
北野精機	真空用のX・X/Yステージ、マニピュレーター（全製品アウトガス低減対策）	記載なし
中央精機	グリース変更等で対応可能	一部を除きクリーングリス仕様
ワイヤード	YBS60シリーズは真空グリス交換に対応	記載なし
日本トムソン	記載なし	ナノリニアは高いクリーン度。製品一覧にクリーン精密位置決めテーブルTC
テクノハンズ	記載なし	コイル可動型リニアモータステージはクリーンルーム仕様対応

専用品として作るメーカーと、標準品のグリースを替えて対応するメーカーがあります。求める真空度やクリーン度が高いほど、専用品を選ぶのが安全です。

真空でステージが問題になる理由

真空中では、ステージの材料や潤滑剤からガスが出て、真空度が上がらない原因になります。神津精機は、真空製品は放出ガス速度から、求める真空度に到達できるかを計算すると説明しています。

• 潤滑剤（グリース）からのガス
• 樹脂部品や配線の被覆からのガス
• 部品のすき間に閉じ込められた空気
• モータの発熱による温度上昇
• 配線の取り出し口からのリーク

北野精機は導入機シリーズの全製品にアウトガス低減対策を施していると記載しています。真空用として設計された製品かどうかが、最初の確認点です。

到達圧力はステージ単体では決まらない

真空対応ステージを選んでも、チャンバーで到達できる圧力は、ステージだけでは決まりません。神津精機はFAQで、この点をはっきり説明しています。

神津精機FAQの要点	内容
保証の範囲	到達圧力はチャンバー容積、内容物の材料、表面積、排気速度などに依存し、ステージ性能として保証できない
目安	通常の中・高真空に配慮された環境なら1×10-3Paならまず問題なく到達
実績	環境によっては10-5Pa台での実績
注意	モーター静止状態と回転状態とで大きく変わる。MVシリーズはベーキング非対応

モータを動かすと発熱で放出ガスが増えます。動かしながら測る実験では、運転中の圧力を前提に計画してください。

グリース交換で対応する場合の注意

標準品のグリースを真空用に替える方法は、手軽な一方で限界があります。公式の記載を並べます。

• 中央精機: 真空での使用はグリース変更等により対応可能。使用する真空度によって対応が異なるので問い合わせを
• ワイヤード: YBS60-20XA／XYAは真空グリス交換も可能（要問い合わせ）
• 神津精機: 真空用は専用の真空対応ステージを用意

グリース交換で足りるかは、真空度と使う時間で変わります。到達させたい圧力を伝えて、専用品が必要かを判断してもらってください。

クリーンルームで使うときの確認点

クリーンルームでは、ステージから出るゴミ（発塵）が問題になります。クリーン仕様の中身を公式の記載で確かめます。

• 神津精機: 潤滑剤をクリングリス（NSK製LG2）に替えた-C仕様で発塵量を抑える。クリングリスはクリーン度を保証しないと注記
• 中央精機: 一部の製品を除きクリーングリス仕様に対応。クリーン梱包、組立環境には対応しない
• 日本トムソン: ナノリニアは機械的接触部分が直動案内機器のみで、ケーブルのない駆動方式により高いクリーン度
• テクノハンズ: コイル可動型のリニアモータステージがクリーンルーム仕様に対応

グリースの変更はクリーン度を保証するものではない、という注記は大事です。クラスの基準がある工程では、メーカーに具体的な発塵の条件を確認してください。

駆動方式で変わる真空・クリーンの向き不向き

駆動方式によって、真空やクリーンへの向き不向きがあります。公式の情報から読み取れる傾向を整理します。

方式	真空・クリーンでの特徴（公式の記載から）
ボールねじ	潤滑剤が必要。真空はグリース変更や専用品、クリーンはクリーングリス（神津精機、中央精機）
リニアモータ	ねじがなく、ケーブルレスの構造で高いクリーン度（日本トムソン）、クリーンルーム仕様（テクノハンズ）
真空導入機	大気側から真空内へ動きを伝える構造。全製品アウトガス低減（北野精機）

リニアモータは日本トムソンやテクノハンズがクリーン用途を挙げていますが、真空での使用は今回確認した公式ページには書かれていませんでした。

ピエゾステージの真空対応は、今回確認した各社のページには記載がありませんでした。必要な場合は個別に問い合わせてください。

真空内の試料移動は導入機という選択も

真空チャンバーで試料を動かす方法は、ステージを中に入れるだけではありません。大気側から真空内へ動きを伝える導入機を使う方法もあります。

• 北野精機の直線導入機・上下機構（Z軸）: KML-34、KL-50・100、KUD-70など
• 回転導入機（φ軸）: マグネット型、ベローズ型、中空型
• トランスファーロッド（Z-φ軸）: KTS-100・200・300ほか
• X・X/Yステージとセミ・マニピュレーター（X-Y-Z軸）: KX-34、KX-70ほか

北野精機は、試料搬送、受け渡し、試料加熱・冷却、薄膜作製、解析・分析などの用途を挙げています。要求仕様に応じた特殊機構も用意すると記載しています。

真空・クリーン用のステージを頼むときの伝え方

真空やクリーンの用途では、伝える情報が足りないと、使えない仕様で見積が出てしまいます。最初に伝えたい情報です。

1. 到達させたい圧力と、運転中に許せる圧力
2. ベーキングの有無と温度
3. クリーン度のクラスと、発塵の基準
4. チャンバーの寸法、取り付け面、配線の取り出し方
5. ストローク、精度、載せる重さ

神津精機は真空対応ステージの結線の資料も公開しています。配線の取り出しはチャンバー側の設計にも関わるので、早めに確認してください。