神津精機株式会社

神津精機株式会社の位置決めステージ

神津精機は神奈川県川崎市麻生区に本社と工場を置く、位置決めステージのメーカーです。1957年10月に設立し、従業員は130名。1975年には放射光専用分光器を納入しており、主要納入先に東京エレクトロン、ディスコ、キヤノン、ニコンなどの企業と、SPring-8、高エネルギー加速器研究機構、理化学研究所などを挙げています。

製品は精密・自動・手動のX/XY、Z、回転、スイベルの各ステージ、アライメントステージ、真空対応位置決めステージです。自動ステージは標準検査項目を定めて全数を精度測定していると記載し、精度の実力値を公開しています。リニアスケールを付けたフルクローズド方式への改造もできます。製品情報にはピエゾステージの分類もあり、カタログPDFでは標準直動ステージをストローク6μm〜500μm、分解能1nm〜20nmと記載しています。

FAQでは、真空ステージは通常の中・高真空の環境なら1×10-3Paまでまず問題なく到達し、環境によっては10-5Pa台の実績があると説明しています。標準品のほか特注ステージの製作実績もあります。価格は公式に記載がありません。

神津精機株式会社の特徴

自動ステージは標準検査項目を定め全数精度測定。実力値の平均を公開

真空対応ステージ: 通常の中・高真空環境なら1×10-3Paならまず問題なく到達、環境によっては10-5Pa台の実績（到達圧力の保証はしない）

クリーンルーム用に潤滑剤をクリングリス（NSK製LG2）に交換した-C仕様を発注可能（クリーン度は保証しない）

分解能を要する場合は研削ネジ、スピードと耐久性を要する場合はボールネジを推奨

標準品は全てステッピングモータ仕様。有償でブレーキ付き・サーボ等へ変更可能。スケール追加でフルクローズド化

主要納入先: 東京エレクトロン、ディスコ、キヤノン、ニコン、SPring-8、高エネルギー加速器研究機構ほか

FAQ: 2軸組合せスイベルステージのワークディスタンスデータは有償で測定値データを発行可能。2軸合わせ込みは5/100mm以内まで（有償）

FAQ: アルミ製と鉄製では剛性が3倍違い、鉄製は剛性が高く、アルミ製は慣性モーメントが小さく高速駆動が可能

FAQ: Z軸に使う場合は落下防止も含め研削ねじを推奨。実験装置は研削ネジ、生産設備はボールネジが多い

FAQ: 標準品以外にも超高精度・超高剛性の特注ステージの製作実績。標準品への追加工も可能（別途費用）

FAQ: 真空到達圧力はチャンバー容積、内容物、表面積、排気速度などに依存し、ステージ性能として保証できない。真空製品は放出ガス速度から到達可能かを計算

製品情報に特注ユニット・OEM製品のページ

真空対応ステージの結線の資料（PDF）を公開

FAQ: 原点センサをCW側とCCW側から検出するとドックの幅分のズレが生じる。出荷時はCCW側検出でストローク中央

FAQ: 標準品は全てステッピングモータ仕様。有償でブレーキ付き、ギヤード、サーボ等の指定モータに変更可能

沿革: 1968年レーザー光学機器全般の製造販売開始、1975年放射光専用分光器を納入、1982年から高エネルギー物理学研究所の放射光施設へ2結晶分光器等の納入を開始し以後も分光器・回折計等を供給

海外納入先: アルゴンヌ国立研究所（APS）、ESRF、ポールシェラー研究所（SLS）、ANKA、NSRRCほか

自動6軸アライメントステージSMR-6B2は剛性重視の設計・組立調整で6軸まで組み合わせても高精度、スマートフォン用カメラモジュールの生産装置に数多く採用

回転ステージの面振れ精度・真の芯振れ精度の動画を公開。製品に高荷重ゴニオメータ、超薄型XYステージ

薄型アライメントステージのテーブルサイズは70mmから210mm、最薄はXYθで厚さ55mm。小型液晶パネルのアライメント、電子部品の評価・接合、画像処理装置・検査装置の位置決めに最適と記載

自動XYθアライメントのPR動画で、画像カメラ・FAカメラで画像処理を行う高精度な位置決めを紹介

製品情報にピエゾステージの分類。カタログPDFでは標準直動ステージ（1軸〜3軸）がストローク6μm〜500μm、分解能1nm〜20nm。直動方式と変位拡大方式があり、内蔵変位センサのフィードバック制御で位置決め

主な主な製品と仕様

主な製品と仕様	種類	備考
精密・自動・手動 X/XYステージ	研削ねじ／ボールねじ・ステッピング	標準品は全数精度測定
Zステージ／回転ステージ／スイベルステージ	自動・手動	精密・自動・手動の各種
自動XYθステージ YRA-070／071／131／200	アライメント	薄型。最薄はXYθで厚さ55mm
真空対応位置決めステージ（MVシリーズほか）	真空用	X・Z・回転・スイベル。MVシリーズはベーキング非対応
精密ポジショナー FPP03-13	精密位置決め	光デバイス組立用、サブミクロンの位置決め
自動6軸アライメントステージ SMR-6B2	多軸	カメラモジュールの生産装置に採用と記載
ピエゾステージ（標準直動ステージ PS1シリーズほか）	ピエゾ（内蔵変位センサでフィードバック制御）	カタログPDF記載: ストローク6μm〜500μm、分解能1nm〜20nm。開口付き、回転・チルトステージ、ドライバ・コントローラも

納入先・用途

• 主要納入先（公式・50音順）: アステック、オリンパス、キヤノン、小糸製作所、島津製作所、ディスコ、東京エレクトロン、トヨタ自動車、ニコン、パナソニックほか。公官庁: SPring-8、大阪大学、高エネルギー加速器研究機構、東京大学、理化学研究所ほか

基本情報

所在地	神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15
設立	1957年10月2日
資本金	99,653,000円
従業員数	130名
電話	044-981-2131（営業部）
駆動方式	研削ねじ・ボールねじ（ステッピングモータ）、ピエゾ、精密ポジショナー
真空対応	真空対応位置決めステージあり（1×10-3Paまで到達の目安）
クリーン対応	クリングリス仕様（-C）
特注	超高精度・超高剛性の特注ステージの製作実績
価格の記載	記載なし（見積）
公式サイト	https://www.kohzu.co.jp/

まとめ

神津精機株式会社の位置決めステージについて、公式サイトの記載をもとに整理しました。条件は案件ごとに異なるため、公式サイトから直接お問い合わせください。用途別のおすすめは3選ページでも紹介しています。