編集部の結論
標準品の仕様選びなら中央精機、真空と放射光なら神津精機、ナノメートルの特注ならTHKプレシジョン。
駆動方式が違うので、順位ではなく必要なストロークと精度、使う環境で決めてください。共通の鉄則は、カタログ値だけでなく実測の精度データを確かめることです。神津精機の実力値公開やコムスの検査成績書のように、根拠を出せるかを問い合わせの最初に聞いてください。
編集部（15社の公式サイトを調査・2026年10月）
【用途別】位置決めステージメーカーおすすめ3選
標準品を、精度の数字と価格で比べて選ぶなら
中央精機株式会社
高精度高剛性ステージは繰り返し精度±0.0005mm。手動から自動まで仕様と価格を製品ページに掲載
手動ステージ（X・XY・Z・回転・傾斜など）と自動ステージ（アライメント・マイクロスキャニング・クロスローラほか）を標準品でそろえる。高精度高剛性ステージALS-903-H1S-BKは移動量±15mm、ボールねじ駆動、分解能0.002mm、繰り返し精度±0.0005mmと公式に記載。FAQで真空はグリース変更等、クリーンルームはクリーングリス仕様で対応可能、特注は検討可能と回答。
- ALS-903-H1S-BK: ±15mm、分解能0.002mm、繰り返し精度±0.0005mm（公式記載）
- 手動・自動・アライメント・マイクロスキャニングを標準品でそろえる
- 真空はグリース変更等、クリーンはクリーングリス仕様で対応可能（FAQ）
- 駆動方式ボールねじ・手動
- 軸構成・種類X/XY/Z/回転・傾斜・アライメント
- 代表仕様（公式表記）繰り返し精度±0.0005mm（ALS-903-H1S-BK）
真空チャンバーや放射光の実験で動かすなら
神津精機株式会社
真空対応位置決めステージを標準でそろえ、SPring-8や高エネ研などへの納入実績
精密・自動・手動のX/XY、Z、回転、スイベル、アライメントに加え、真空対応位置決めステージを持つ。FAQで、通常の中・高真空環境なら1×10-3Paまでまず問題なく到達し、環境によっては10-5Pa台の実績と説明。自動ステージは全数精度測定し実力値を公開。主要納入先にSPring-8、高エネルギー加速器研究機構、理化学研究所、東京エレクトロン、ディスコなど。
- 真空対応ステージ: 1×10-3Paまで到達の目安、10-5Pa台の実績（到達圧力は保証しない）
- 自動ステージは全数精度測定。実力値の平均を公開
- クリングリス仕様（-C）、フルクローズド化、特注ステージの実績
- 駆動方式研削ねじ・ボールねじ・ピエゾ
- 軸構成・種類X/XY/Z/回転/スイベル/XYθ/6軸
- 代表仕様（公式表記）自動ステージは全数精度測定・実力値公開
ナノメートル単位で動かす装置を、1品から特注するなら
THKプレシジョン株式会社
ピエゾステージは1nmの超高分解能をうたう。THKグループで、カスタマイズを1品から
圧電アクチュエータを利用した精密位置決め装置の開発・製造・販売を事業とし、超精密位置決めピエゾステージは1nmの超高分解能とミリ秒の高速応答をうたう。フォーカシングポジショナ、ミラーチルト、加工用ステージ、コアレスリニアモータのロングストロークステージもそろえる。日本製・自社開発のステージメーカーとして、カスタマイズを1品から設計製作すると公式に記載。
- 超精密位置決めピエゾステージ: 1nmの超高分解能、ミリ秒の高速応答
- フォーカシングポジショナ、ミラーチルト、加工用ステージ、リニアモータステージ
- 日本製・自社開発。カスタマイズを1品から設計製作
- 駆動方式ピエゾ・ピエゾモータ・リニアモータ
- 軸構成・種類ピエゾステージ・フォーカス・チルト・加工用
- 代表仕様（公式表記）1nmの超高分解能
おすすめ3社の比較表
| メーカー | 駆動方式 | 軸構成・種類 | 代表仕様（公式表記） | 真空・クリーン対応 | 本社 | 出典 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 中央精機株式会社 | ボールねじ・手動 | X/XY/Z/回転・傾斜・アライメント | 繰り返し精度±0.0005mm（ALS-903-H1S-BK） | グリース変更で対応 | 東京都 | 公式 2026-10-01確認 |
| 神津精機株式会社 | 研削ねじ・ボールねじ・ピエゾ | X/XY/Z/回転/スイベル/XYθ/6軸 | 自動ステージは全数精度測定・実力値公開 | 真空専用品・クリングリス仕様 | 神奈川県 | 公式 2026-10-01確認 |
| THKプレシジョン株式会社 | ピエゾ・ピエゾモータ・リニアモータ | ピエゾステージ・フォーカス・チルト・加工用 | 1nmの超高分解能 | 記載なし | 東京都 | 公式 2026-10-01確認 |
※編集チーム調べ。各社公式サイトの記載をもとに作成（2026年10月調査時点）。「記載なし」は公式サイトに該当する記述が見つからなかった項目です。
位置決めステージメーカーを選ぶ3つの基準
ストロークと精度で駆動方式を決める
数mm〜数百mmを動かすなら、ボールねじや送りねじのステージ（中央精機、駿河精機、神津精機）が標準です。高速で長く動かすならリニアモータで、テクノハンズは最大ストローク5mまで製作可能と記載しています。ナノメートル単位で止めたいならピエゾで、THKプレシジョンは1nmの超高分解能をうたいます。必要なストロークと繰返し精度を先に数字で決め、その両方を満たす方式から探してください。
使う環境（真空・クリーン）で候補を絞る
真空チャンバーの中で使うなら、真空専用品を持つ神津精機や、全製品にアウトガス低減対策をした導入機をそろえる北野精機が候補です。中央精機とワイヤードはグリース変更で真空に対応する製品があると記載しています。クリーンルームでは、神津精機のクリングリス仕様（-C）、日本トムソンのナノリニア（ケーブルのない駆動で高いクリーン度）、テクノハンズのクリーンルーム仕様のリニアモータステージがあります。今回の15社で、真空かクリーンへの対応を公式に書いていたのは6社でした（製品サイトを取得できなかったシグマ光機は確認できていません）。
精度の根拠と特注の範囲を確かめる
カタログ値だけでなく、実測の精度を見られるかが選定の決め手になります。神津精機は自動ステージを全数精度測定して実力値を公開し、コムスは全製品に検査成績書を無料で添付しています。標準品で寸法や環境が合わない場合に備えて、特注の範囲も確認してください。THKプレシジョンは1品から、コムスは無料で見積と図面を作ると公式に記載しています。
選定基準
2026年10月1日時点で検索「位置決めステージ メーカー」「XYステージ メーカー」「ピエゾステージ メーカー」「真空対応 ステージ メーカー」等で表示された公式サイト15社（商社・販売代理店、海外メーカーの日本法人で販売窓口のもの、ステージ製品のページを確認できなかった会社、公式サイトに接続できなかった会社は除外）を調査し、①公式サイトに位置決めステージ（手動・電動・ピエゾ・真空用を含む）の製品ページがある ②駆動方式・軸構成・精度やストロークなどの仕様のいずれかの記載がある ③特注・カスタマイズ、検査データ、デモ機などの対応の記載がある、の3点を満たす中から、標準品の仕様選び・真空と放射光・ナノメートルの位置決めの用途別に3社を選定しています。
おすすめ3社を詳しく紹介
1中央精機株式会社
標準品を、精度の数字と価格で比べて選ぶなら
高精度高剛性ステージは繰り返し精度±0.0005mm。手動から自動まで仕様と価格を製品ページに掲載
おすすめの理由
手動ステージ（X・XY・Z・回転・傾斜など）と自動ステージ（アライメント・マイクロスキャニング・クロスローラほか）を標準品でそろえる。高精度高剛性ステージALS-903-H1S-BKは移動量±15mm、ボールねじ駆動、分解能0.002mm、繰り返し精度±0.0005mmと公式に記載。FAQで真空はグリース変更等、クリーンルームはクリーングリス仕様で対応可能、特注は検討可能と回答。
研究室の光学実験や装置への組み込みで、まず標準品から選びたいなら中央精機を見てください。理由は、型式ごとに移動量・分解能・繰り返し精度・真直度・耐荷重まで製品ページに数字が出ていて、見積の前に候補を絞れることです。製品一覧には価格も載っています（FAQで掲載価格は税別と回答。ALS-903-H1S-BKは530,000円）。1955年創業の東京都千代田区の会社で、コントローラ・ドライバも同じ窓口でそろいます。標準品で足りない場合の特注は検討可能とFAQで回答しています。
決め手
- ALS-903-H1S-BK: ±15mm、分解能0.002mm、繰り返し精度±0.0005mm（公式記載）
- 手動・自動・アライメント・マイクロスキャニングを標準品でそろえる
- 真空はグリース変更等、クリーンはクリーングリス仕様で対応可能（FAQ）
向かない人
真空対応はグリース変更での対応で、真空度により異なると記載しています。高真空や放射光の実験では、真空専用品を持つ神津精機と比べてください。
編集部評価
| 研究・光学実験 | ●●●●●5/5 |
|---|---|
| 真空・クリーン | ●●●○○3/5 |
| ナノ分解能（ピエゾ） | ●○○○○1/5 |
| 特注対応 | ●●●○○3/5 |
| 仕様・価格の公開度 | ●●●●●5/5 |
※編集部評価は、上の選定基準と各社公式サイトの記載をもとにした5段階の目安です。
特徴
- ALS-903-H1S-BK: X軸1方向・移動量±15mm、ボールねじ（リード1mm）、分解能0.002mm、位置決め精度0.002mm、繰り返し精度±0.0005mm
- 高精度高剛性ステージはステージ面90mm×100mm〜150mm×200mm、移動量±15mm〜±50mm、V溝とクロスローラ
- FAQ: 真空での使用はグリース変更等により対応可能（真空度により異なる）
- FAQ: クリーンルームは一部の製品を除きクリーングリス仕様で対応可能。クリーン梱包・組立環境には非対応
- FAQ: 特注対応は検討可能
- ALS-903-H1S-BKの仕様: 真直度（水平・垂直）0.0007mm、ヨーイング・ピッチング4sec、ロストモーション0.0005mm、耐荷重98N（10kgf）、最高速度10mm/s（5,000pps時）、質量3.5kg、検査合格証付き
- FAQ: ハンドルやマイクロメータ及びクランプネジなどの位置の変更は対応可能
- 製品群にオートフォーカスシステム、光学ベース、除振台、ツールスコープ、コントローラドライバ
- 手動ステージにねじ式、ラックピニオン、マイクロステージ、薄型VBステージ、フィックスステージなど
- ALS-903-H1S-BKのモーメント剛性: ヨー剛性0.1sec/N・cm、ピッチ剛性0.1sec/N・cm、ロール剛性0.05sec/N・cm
- 製品一覧に価格を掲載（ALS-903-H1S-BKは530,000円）。FAQで掲載価格に消費税は含まれていないと回答
主な主な製品と仕様
| 主な製品と仕様 | 種類 | 備考 |
|---|---|---|
| 高精度高剛性ステージ ALS-903-H1S-BK | 自動・ボールねじ（ステッピング） | ±15mm、分解能0.002mm、繰り返し精度±0.0005mm、耐荷重98N（10kgf） |
| 自動ステージ（クロスローラ／ボールブッシュ／ボールウェイ） | 自動 | X・XY・Z・回転 |
| アライメントステージ／マイクロスキャニングステージ | 自動 | 多軸 |
| 手動ステージ | 手動（ねじ式・ラックピニオンほか） | X・XY・Z・XYZ・回転・傾斜 |
| コントローラ・ドライバ | 制御機器 | QT-Bシリーズなど |
基本情報
| 所在地 | 〒101-0063 東京都千代田区神田淡路町1-5 及川ビル2F |
|---|---|
| 設立 | 1955年創業、1959年株式会社として組織 |
| 資本金 | 100,000,000円 |
| 電話 | 03-3257-1991（代） |
| 駆動方式 | ボールねじ（ステッピングモータ）ほか、手動 |
| 真空対応 | グリース変更等で対応可能（FAQ） |
| クリーン対応 | クリーングリス仕様（一部を除く） |
| 特注 | 検討可能（FAQ） |
| 価格の記載 | 製品一覧に価格を掲載（税別とFAQに記載。ALS-903-H1S-BKは530,000円） |
2神津精機株式会社
真空チャンバーや放射光の実験で動かすなら
真空対応位置決めステージを標準でそろえ、SPring-8や高エネ研などへの納入実績
おすすめの理由
精密・自動・手動のX/XY、Z、回転、スイベル、アライメントに加え、真空対応位置決めステージを持つ。FAQで、通常の中・高真空環境なら1×10-3Paまでまず問題なく到達し、環境によっては10-5Pa台の実績と説明。自動ステージは全数精度測定し実力値を公開。主要納入先にSPring-8、高エネルギー加速器研究機構、理化学研究所、東京エレクトロン、ディスコなど。
真空チャンバーの中で試料や光学素子を動かす実験なら、神津精機が第一候補です。真空対応ステージを標準品として持ち、放出ガス速度を公開ページで案内しているため、求める真空度に届くかを計算で確かめられます。沿革には、1975年に放射光専用分光器を納入し、1982年に高エネルギー物理学研究所の放射光施設へ分光器等の納入を始めて以後、分光器・回折計を供給し続けていると書いています。標準品でもステージ型式に-Cを付けたクリングリス仕様、スケールを足したフルクローズド化、モータ変更（有償）ができ、超高精度・超高剛性の特注ステージの製作実績もあります。
決め手
- 真空対応ステージ: 1×10-3Paまで到達の目安、10-5Pa台の実績（到達圧力は保証しない）
- 自動ステージは全数精度測定。実力値の平均を公開
- クリングリス仕様（-C）、フルクローズド化、特注ステージの実績
向かない人
価格は公式に記載がありません。MVシリーズはベーキング非対応と明記しています。ナノメートル単位の微動には同社のピエゾステージ（カタログPDFで分解能1nm〜、ストローク6μm〜500μm）もありますが、ピエゾの真空対応は今回確認したページに記載がないため、真空内で使うなら個別に確認してください。
編集部評価
| 研究・光学実験 | ●●●●○4/5 |
|---|---|
| 真空・クリーン | ●●●●●5/5 |
| ナノ分解能（ピエゾ） | ●●●○○3/5 |
| 特注対応 | ●●●●○4/5 |
| 仕様・価格の公開度 | ●●●○○3/5 |
※編集部評価は、上の選定基準と各社公式サイトの記載をもとにした5段階の目安です。
特徴
- 自動ステージは標準検査項目を定め全数精度測定。実力値の平均を公開
- 真空対応ステージ: 通常の中・高真空環境なら1×10-3Paならまず問題なく到達、環境によっては10-5Pa台の実績（到達圧力の保証はしない）
- クリーンルーム用に潤滑剤をクリングリス（NSK製LG2）に交換した-C仕様を発注可能（クリーン度は保証しない）
- 分解能を要する場合は研削ネジ、スピードと耐久性を要する場合はボールネジを推奨
- 標準品は全てステッピングモータ仕様。有償でブレーキ付き・サーボ等へ変更可能。スケール追加でフルクローズド化
- 主要納入先: 東京エレクトロン、ディスコ、キヤノン、ニコン、SPring-8、高エネルギー加速器研究機構ほか
- FAQ: 2軸組合せスイベルステージのワークディスタンスデータは有償で測定値データを発行可能。2軸合わせ込みは5/100mm以内まで（有償）
- FAQ: アルミ製と鉄製では剛性が3倍違い、鉄製は剛性が高く、アルミ製は慣性モーメントが小さく高速駆動が可能
- FAQ: Z軸に使う場合は落下防止も含め研削ねじを推奨。実験装置は研削ネジ、生産設備はボールネジが多い
- FAQ: 標準品以外にも超高精度・超高剛性の特注ステージの製作実績。標準品への追加工も可能（別途費用）
- FAQ: 真空到達圧力はチャンバー容積、内容物、表面積、排気速度などに依存し、ステージ性能として保証できない。真空製品は放出ガス速度から到達可能かを計算
- 製品情報に特注ユニット・OEM製品のページ
- 真空対応ステージの結線の資料（PDF）を公開
- FAQ: 原点センサをCW側とCCW側から検出するとドックの幅分のズレが生じる。出荷時はCCW側検出でストローク中央
- FAQ: 標準品は全てステッピングモータ仕様。有償でブレーキ付き、ギヤード、サーボ等の指定モータに変更可能
- 沿革: 1968年レーザー光学機器全般の製造販売開始、1975年放射光専用分光器を納入、1982年から高エネルギー物理学研究所の放射光施設へ2結晶分光器等の納入を開始し以後も分光器・回折計等を供給
- 海外納入先: アルゴンヌ国立研究所（APS）、ESRF、ポールシェラー研究所（SLS）、ANKA、NSRRCほか
- 自動6軸アライメントステージSMR-6B2は剛性重視の設計・組立調整で6軸まで組み合わせても高精度、スマートフォン用カメラモジュールの生産装置に数多く採用
- 回転ステージの面振れ精度・真の芯振れ精度の動画を公開。製品に高荷重ゴニオメータ、超薄型XYステージ
- 薄型アライメントステージのテーブルサイズは70mmから210mm、最薄はXYθで厚さ55mm。小型液晶パネルのアライメント、電子部品の評価・接合、画像処理装置・検査装置の位置決めに最適と記載
- 自動XYθアライメントのPR動画で、画像カメラ・FAカメラで画像処理を行う高精度な位置決めを紹介
- 製品情報にピエゾステージの分類。カタログPDFでは標準直動ステージ（1軸〜3軸）がストローク6μm〜500μm、分解能1nm〜20nm。直動方式と変位拡大方式があり、内蔵変位センサのフィードバック制御で位置決め
主な主な製品と仕様
| 主な製品と仕様 | 種類 | 備考 |
|---|---|---|
| 精密・自動・手動 X/XYステージ | 研削ねじ／ボールねじ・ステッピング | 標準品は全数精度測定 |
| Zステージ／回転ステージ／スイベルステージ | 自動・手動 | 精密・自動・手動の各種 |
| 自動XYθステージ YRA-070／071／131／200 | アライメント | 薄型。最薄はXYθで厚さ55mm |
| 真空対応位置決めステージ（MVシリーズほか） | 真空用 | X・Z・回転・スイベル。MVシリーズはベーキング非対応 |
| 精密ポジショナー FPP03-13 | 精密位置決め | 光デバイス組立用、サブミクロンの位置決め |
| 自動6軸アライメントステージ SMR-6B2 | 多軸 | カメラモジュールの生産装置に採用と記載 |
| ピエゾステージ（標準直動ステージ PS1シリーズほか） | ピエゾ（内蔵変位センサでフィードバック制御） | カタログPDF記載: ストローク6μm〜500μm、分解能1nm〜20nm。開口付き、回転・チルトステージ、ドライバ・コントローラも |
納入先・用途
- 主要納入先（公式・50音順）: アステック、オリンパス、キヤノン、小糸製作所、島津製作所、ディスコ、東京エレクトロン、トヨタ自動車、ニコン、パナソニックほか。公官庁: SPring-8、大阪大学、高エネルギー加速器研究機構、東京大学、理化学研究所ほか
基本情報
| 所在地 | 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15 |
|---|---|
| 設立 | 1957年10月2日 |
| 資本金 | 99,653,000円 |
| 従業員数 | 130名 |
| 電話 | 044-981-2131（営業部） |
| 駆動方式 | 研削ねじ・ボールねじ（ステッピングモータ）、ピエゾ、精密ポジショナー |
| 真空対応 | 真空対応位置決めステージあり（1×10-3Paまで到達の目安） |
| クリーン対応 | クリングリス仕様（-C） |
| 特注 | 超高精度・超高剛性の特注ステージの製作実績 |
| 価格の記載 | 記載なし（見積） |
3THKプレシジョン株式会社
ナノメートル単位で動かす装置を、1品から特注するなら
ピエゾステージは1nmの超高分解能をうたう。THKグループで、カスタマイズを1品から
おすすめの理由
圧電アクチュエータを利用した精密位置決め装置の開発・製造・販売を事業とし、超精密位置決めピエゾステージは1nmの超高分解能とミリ秒の高速応答をうたう。フォーカシングポジショナ、ミラーチルト、加工用ステージ、コアレスリニアモータのロングストロークステージもそろえる。日本製・自社開発のステージメーカーとして、カスタマイズを1品から設計製作すると公式に記載。
AFMや半導体・FPDの検査装置、顕微鏡のフォーカスのように、ナノメートル単位の位置決めが要る装置を作るなら、THKプレシジョンに相談してください。ピエゾは圧電素子の伸びで動くため、モータとねじのステージでは届かない細かさで止められます。同社は最初の打ち合わせで聞いた要望をもとに構想図案を示し、追加・修正を経て最終図に仕上げる流れを公式に書いています。単体の規模は21名ですが、国内すべての地域をTHKグループで対応し、地域のTHK営業所でも問い合わせを受けます。
決め手
- 超精密位置決めピエゾステージ: 1nmの超高分解能、ミリ秒の高速応答
- フォーカシングポジショナ、ミラーチルト、加工用ステージ、リニアモータステージ
- 日本製・自社開発。カスタマイズを1品から設計製作
向かない人
ピエゾステージの個別のストロークと真空対応は、今回確認したページに記載がありません。数十mm動かすならピエゾモータステージ、それより長い移動はリニアモータステージか、他社のボールねじステージを見てください。
編集部評価
| 研究・光学実験 | ●●●○○3/5 |
|---|---|
| 真空・クリーン | ●●○○○2/5 |
| ナノ分解能（ピエゾ） | ●●●●●5/5 |
| 特注対応 | ●●●●●5/5 |
| 仕様・価格の公開度 | ●●○○○2/5 |
※編集部評価は、上の選定基準と各社公式サイトの記載をもとにした5段階の目安です。
特徴
- 超精密位置決めピエゾステージ: 1nmの超高分解能とミリ秒の高速応答
- 用途: 半導体・FPD関連装置、AFM、HDD検査、分析機器、光通信・計測
- 日本製・自社開発のステージメーカーとして、カスタマイズを1品から設計製作
- 国内すべての地域をTHKグループで対応。地域のTHK営業所に問い合わせ可能
- 事業内容: 圧電アクチュエータを利用した精密位置決め装置等の開発・製造・販売
- カスタマイズは最初の打ち合わせの要望仕様をもとに初回構想図案を提示し、追加・修正を経て最終図に。必要に応じて技術担当者が同席
- フォーカシングポジショナの用途: 干渉応用計測、画像処理、半導体・FPD検査、レーザ加工、細胞観察。ミラーチルトの用途: レーザ光走査、キャビティ調整、光バイオ、レーザ加工
- リニアモータステージは低速リップルが小さく優れた速度安定性と高い位置決め精度を備えたコアレスリニアモータ採用の精密ロングストロークステージ
- ピエゾモータステージ: 数十mmの可動全域をナノレベルでポジショニング、スケール内蔵で高い位置再現性の長ストローク高精度ステージ
- サポートページに「テスト機貸出」の案内
主な主な製品と仕様
| 主な製品と仕様 | 種類 | 備考 |
|---|---|---|
| 超精密位置決めピエゾステージ | ピエゾ（圧電） | 1nmの超高分解能、ミリ秒の高速応答 |
| ピエゾモータステージ | ピエゾモータ | 数十mmの可動全域をナノレベルで位置決め、スケール内蔵（2018年商品化） |
| フォーカシングポジショナ | ピエゾ | 顕微鏡・検査装置のレンズフォーカス |
| ミラーチルト | ピエゾ | サブμrad分解能 |
| 加工用ステージ | ピエゾ | ダイヤモンドバイト微細送り、FTSなど |
| リニアモータステージ | コアレスリニアモータ | 精密ロングストローク |
| マイクロフォースセンサ | センサ | mgの微小な力の検知 |
基本情報
| 所在地 | 〒144-0042 東京都大田区羽田旭町10-11 MFIP羽田102 |
|---|---|
| 設立 | 2002年1月10日 |
| 資本金 | 5,000万円 |
| 従業員数 | 21名（2026年1月現在） |
| 電話 | 03-5735-5086 |
| 駆動方式 | ピエゾ（圧電）、ピエゾモータ、コアレスリニアモータ |
| 真空対応 | 記載なし |
| クリーン対応 | 記載なし |
| 特注 | カスタマイズを1品から設計製作 |
| 価格の記載 | 記載なし（見積） |
| デモ | テスト機貸出の案内あり（条件は今回確認していない） |
自社の用途に合う位置決めステージを、無料で相談する
動かしたいストローク、必要な精度（繰返し・分解能）、載せる重さ、軸の数、使う環境（大気・真空・クリーン）、手動か電動かを送っていただくと、編集チームが条件に合う掲載メーカーへ匿名で概要を伝え、見積や仕様確認の窓口をおつなぎします。費用はかかりません。
位置決めステージの基礎知識
ボールねじ・リニアモータ・ピエゾの違いから、精度の用語の読み方、真空・クリーン環境での注意点、特注の頼み方まで、見積を取る前に知っておきたいことをまとめています。
- 位置決めステージの精度の読み方｜繰返し位置決め精度・分解能・位置決め精度・真直度・ロストモーション【2026年版】位置決めステージのカタログには、繰返し位置決め精度、分解能、位置決め精度、真直度、ロストモーションなど、似た言葉が並びます。掲載メーカーの公式仕様を例に、それぞれの意味と、比べるときの注意点を整理しました。
- 位置決めステージの特注とカスタマイズの頼み方｜標準品の改造から1品の設計まで【2026年版】位置決めステージは標準品で足りない場合、改造や特注で対応する方法があります。掲載メーカーの公式情報から、標準品の改造でできること、特注の進め方、見積の前に伝える情報を整理しました。
- 位置決めステージの駆動方式の違い｜ボールねじ・リニアモータ・ピエゾ・超音波モータ・手動を比べる【2026年版】位置決めステージは、駆動方式でストローク、速度、止められる細かさが大きく変わります。掲載15社の公式情報から、ボールねじ、リニアモータ、ピエゾ、超音波モータ、手動の5つの方式の特徴と、向く用途を整理しました。
- 真空チャンバーとクリーンルームで使う位置決めステージ｜グリース・アウトガス・発塵の確認点【2026年版】真空中やクリーンルームで位置決めステージを使うときは、大気中とは違う条件を確かめる必要があります。掲載メーカーの公式情報から、真空対応の方法、到達圧力の考え方、クリーン仕様の中身と限界を整理しました。
用途・環境別に探す
重量物の位置合わせとアライメントに使うステージ｜耐荷重・剛性・XYθ・チルトで選ぶメーカー【2026年版】
重いワークの高さや傾きを調整したい、装置の中で部品をXYθで位置合わせしたい。こうした用途では、精度だけでなく耐荷重と剛性がステージ選びの中心になります。掲載メーカーの公式情報から、使える製品と確認点を整理しました。
顕微鏡の観察と外観検査に使う位置決めステージ｜XYスキャニング・透過穴・フォーカスで選ぶメーカー【2026年版】
顕微鏡やマイクロスコープでウェハや電子部品を観察・検査するときは、XYの移動、試料の透過、フォーカスの3つでステージを選びます。掲載メーカーの公式情報から、使える製品と選び方を整理しました。
ナノメートル単位の位置決めにピエゾステージを使う｜分解能・ストローク・制御方式で選ぶ国内メーカー【2026年版】
AFMや干渉計、超精密加工のようにナノメートル単位で位置を決めたいときは、ピエゾ（圧電）ステージを使います。掲載メーカーの公式情報から、国内でピエゾステージを作るメーカー、製品の種類、制御方式と特注の選び方を整理しました。
光学実験と光ファイバ調芯に使う位置決めステージ｜手動・電動・ゴニオ・チルトを研究室でそろえる【2026年版】
レーザーや光ファイバを使う研究室では、レンズやミラー、ファイバの位置と角度を細かく合わせる必要があります。掲載メーカーの公式情報から、光学実験と調芯に使うステージの種類と、メーカーの選び方を整理しました。
半導体・FPDの製造装置と検査装置に組み込む位置決めステージ｜リニアモータ・クリーン・精度保証で選ぶ【2026年版】
半導体やフラットパネルディスプレイの製造装置・検査装置にステージを組み込むときは、速度、クリーン度、精度の保証、長期の供給が選定の軸になります。掲載メーカーの公式情報から、装置組み込み向けの製品と選び方を整理しました。
真空チャンバーと放射光実験の位置決めステージ｜真空対応品・導入機・ゴニオメータで選ぶメーカー【2026年版】
放射光施設や表面分析、薄膜の研究では、真空チャンバーの中で試料や光学素子を動かします。掲載メーカーの公式情報から、真空で使えるステージ、真空外から動かす導入機、納入実績の見方を整理しました。
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位置決めステージメーカー一覧【15社】
調査日時点で、公式サイトに位置決めステージの製品ページを確認できたメーカーを掲載しています。商社・販売代理店、海外メーカーの日本法人で販売窓口のものは一覧から外しています。
- 中央精機株式会社標準品を仕様で選ぶなら
- コムス株式会社検査成績書で精度を確かめたいなら
- 株式会社ファインシス顕微鏡検査の効率化なら
- ヒーハイスト株式会社重量物のチルト・高さ調整なら
- 日本トムソン株式会社装置組込みのリニアモータなら
- 北野精機株式会社真空チャンバー内の試料移動なら
- 神津精機株式会社真空・放射光の実験なら
- 有限会社メカノトランスフォーマピエゾ機構を特注するなら
- 株式会社メステックピエゾを一式で国産にするなら
- 株式会社ミラック光学手動ステージを使い勝手で選ぶなら
- シグマ光機株式会社光学部品とまとめてそろえるなら
- 駿河精機株式会社型式で選んで組み込むなら
- テクノハンズ株式会社超小型・超音波モータなら
- THKプレシジョン株式会社ナノメートルの位置決めなら
- ワイヤード株式会社顕微鏡まわりの特注なら
目的別のほかの比較
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よくある質問
位置決めステージの価格はいくらくらいですか？
今回調査した15社で、製品一覧にステージ本体の価格を載せているのは中央精機だけでした（掲載価格は税別とFAQに記載）。シグマ光機は製品サイト（オンラインストア）の本文を取得できず価格を確認できませんでした。ほかの13社は製品ページに本体価格がなく、見積が前提です。駆動方式、ストローク、精度、軸数、真空・クリーン仕様で価格が大きく変わるため、仕様を数字でそろえて2〜3社に見積を依頼してください。
繰返し位置決め精度と分解能はどう違いますか？
分解能は1回の指令で動ける最小の量、繰返し位置決め精度は同じ位置に何度戻したときのばらつきです。中央精機のALS-903-H1S-BKは分解能0.002mm、繰り返し精度±0.0005mmと、両方を公式に分けて記載しています。テクノハンズの超音波モータステージは、繰返し位置決め精度をパルス数（±3pulse）で表しています。
真空チャンバーの中で使えるステージはありますか？
あります。神津精機は真空対応位置決めステージを標準で持ち、通常の中・高真空環境なら1×10-3Paまでまず問題なく到達すると説明しています。北野精機は全製品にアウトガス低減対策をした真空用のX・X/Yステージとマニピュレーターをそろえます。中央精機はグリース変更等、ワイヤードは真空グリス交換で対応できる製品があると記載しています。
ナノメートル単位で動かすにはどうすればいいですか？
ピエゾ（圧電）ステージを使います。THKプレシジョンは1nmの超高分解能をうたい、神津精機もカタログPDFで分解能1nm〜のピエゾステージを載せています。メステックは1・2・3軸、透過窓付き、耐油型などのピエゾステージをそろえます。メカノトランスフォーマは圧電素子の小さな変位を拡大する機構を持ち、特注設計に応じます。ピエゾはストロークが短いので、長い移動はねじやリニアモータのステージと組み合わせます。
手動ステージはどこで選べばいいですか？
中央精機、駿河精機、神津精機は手動のX〜XYZ、回転、ゴニオなどを標準品でそろえます。ミラック光学はアリ溝式の手動ステージが主力で、ハンドル1回転の移動量はラック&ピニオン式18mm、送りねじ式0.5〜10mmとFAQで説明し、操作部を選べるセミオーダーステージとデモ機の貸出があります。