ヒーハイスト株式会社

ヒーハイスト株式会社の位置決めステージ

ヒーハイストは埼玉県川越市に本社を置く、直動軸受のメーカーです。1962年7月に設立し、東京証券取引所スタンダード市場に上場しています。工場は埼玉と秋田にあり、法人株主にTHK株式会社などが入っています。

製品情報では、ボールスプラインや球面軸受と並んで、高精度位置決めステージとしてXYθステージ（アライメントステージ）やZチルトステージを掲載しています。Zチルトステージはクサビ型Z軸モジュールを3か所に配置し、各アクチュエータの上下動作で高さと水平レベルを調整する構造です。

Zチルトステージは300mm×300mm×200mmの型式でストロークθx：±7.4°・θy：±4.3°、許容荷重900N、500mm×500mm×370mmの型式で許容荷重4400Nと記載しています。XYθステージのNAF3シリーズは、同一平面上に置いた3つの電動アクチュエータ（ステッピングモータかサーボモータを選択）で動く超薄型ステージで、ストロークはXY±2mm・θ±2°（100mm角）からXY±5mm・θ±3°、静止時負荷容量は200N〜6000Nです。2次元・3次元CADデータの閲覧ができます。価格は公式に記載がありません。

ヒーハイスト株式会社の特徴

ZチルトステージはクサビZ軸モジュールを3か所配置。ジョイント部に自社製球面軸受（SRJ）

Z16AB06-AC3-200050: 300mm×300mm×200mm、θx：±7.4° θy：±4.3°、許容荷重900N

Z32AB05-AC3-350875: 500mm×500mm×370mm、θx：±7° θy：±4°、許容荷重4400N

高精度位置決めステージとしてXYθステージ（アライメントステージ）を掲載

東京証券取引所スタンダード上場、法人株主にTHK株式会社

NAF3シリーズ: UVWの3軸アクチュエータを同一平面に配置した超薄型XYθステージ。NAF3C-10-01P（100×100×35mm）はXY±2mm・θ±2°・200N、NAF3C-40K00（400×400×80mm）はXY±5mm・θ±3°・6000N。ステッピング（-P）かサーボ（-S）を選択

NAF3シリーズの導入事例: 半導体製造装置・検査装置、LCD・PDP・ELパネル製造・検査装置、スクリーン印刷・プリント基板印刷機、顕微鏡ステージ

主な主な製品と仕様

主な製品と仕様	種類	備考
Zチルトステージ Z16AB06-AC3-200050	クサビ型Z軸モジュール×3	300×300×200mm、θx±7.4°・θy±4.3°、許容荷重900N
Zチルトステージ Z32AB05-AC3-350875	クサビ型Z軸モジュール×3	500×500×370mm、θx±7°・θy±4°、許容荷重4400N
XYθステージ（アライメントステージ）NAF3シリーズ	電動アクチュエータ3軸（ステッピング／サーボ選択）	100mm角〜400mm角、XY±2〜±5mm・θ±2〜±3°、静止時負荷容量200N〜6000N
ボールスプライン／球面軸受 SRJ	機械要素

基本情報

所在地	〒350-1151 埼玉県川越市今福580番地1
設立	1962年7月19日
資本金	732,552,000円（2026年3月）
電話	049-273-7000（代表）
駆動方式	電動アクチュエータ（ステッピング／サーボ、NAF3）、クサビ型Z軸モジュール（Zチルト）
真空対応	記載なし
クリーン対応	記載なし
特注	記載なし
価格の記載	記載なし（見積）
公式サイト	https://www.hephaist.co.jp/

まとめ

ヒーハイスト株式会社の位置決めステージについて、公式サイトの記載をもとに整理しました。条件は案件ごとに異なるため、公式サイトから直接お問い合わせください。用途別のおすすめは3選ページでも紹介しています。