半導体・FPDの製造装置と検査装置に組み込む位置決めステージ｜リニアモータ・クリーン・精度保証で選ぶ【2026年版】

装置メーカーがステージを選ぶときは、研究用とは違う条件が加わります。量産装置として毎日動かし続け、同じ性能を何年も供給してもらう必要があるからです。

この記事では、半導体・FPDの装置に組み込む位置決めステージを、掲載メーカーの公式情報で整理します。

装置組み込みで求められる5つの条件

装置に組み込むステージには、精度に加えて運用の条件が求められます。比較の前に、条件を整理します。

• 速度と加速度: タクトタイムを決める
• クリーン度: 発塵がウェハやパネルの不良につながる
• 精度の根拠: 検査データで出荷時の精度を確かめられるか
• 寸法と剛性: 装置の中の限られた空間に収まるか
• 長期の供給と保守: 装置の生産期間中、同じものを買い続けられるか

どの条件を重視するかで、駆動方式とメーカーが変わります。装置の仕様書から、ステージに求める数字を先に抜き出してください。

半導体・FPDを用途に挙げるメーカー

掲載15社のうち、半導体やFPDの装置を用途・納入先として公式に挙げているメーカーです。

メーカー	公式の記載	主な駆動方式
日本トムソン	メカトロシリーズは半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置などの位置決め機構に使用。ナノリニアは半導体・液晶関連製造装置に最適	ボールねじ、リニアモータ
THKプレシジョン	ピエゾステージの用途に半導体・FPD関連装置、HDD検査。フォーカシングポジショナの用途に半導体・FPD検査	ピエゾ、リニアモータ
神津精機	主要納入先に東京エレクトロン、ディスコ、ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング、ルネサスエレクトロニクスなど	ボールねじ・研削ねじ
テクノハンズ	導入分野に半導体製造装置	リニアモータ、超音波モータ
ワイヤード	事業内容に半導体検査機器の設計・製造	送りねじ、ピエゾ

量産装置の主軸ならリニアモータやボールねじ、検査の微動やフォーカスならピエゾ、と役割で分けて探すと効率的です。

速く動かす：リニアモータのステージ

タクトタイムを短くしたい搬送や検査では、リニアモータのステージが候補になります。公式の仕様を並べます。

製品	公式の記載
日本トムソン ナノリニアNT	ムービングマグネット方式、クロスローラウェイ案内、高分解能リニアエンコーダ。極めて小形で高速・高応答
日本トムソン リニアモータテーブルLT	LT…CE、LT…H、LT…LDほか
テクノハンズ コイル可動型	最大加速度8G、最大速度5m/sec、最大ストローク5mまで製作可能、クリーンルーム仕様対応
テクノハンズ マグネット可動型	ハーネスレス、完全クローズドループ制御、位置決め精度±0.2μm
THKプレシジョン リニアモータステージ	コアレスリニアモータで低速リップルが小さく、精密ロングストローク

リニアモータはねじがないぶん、保守の手間が減る一方で、制御とエンコーダの選定が性能を決めます。ドライバとの組み合わせまで含めて、メーカーに相談してください。

クリーン度を確保する

ウェハやパネルを扱う装置では、ステージからの発塵が直接不良につながります。公式に書かれているクリーン対応です。

• 日本トムソン ナノリニア: 機械的接触部分が直動案内機器のみで、ケーブルのない駆動方式により高いクリーン度
• テクノハンズ: コイル可動型のリニアモータステージがクリーンルーム仕様に対応
• 神津精機: クリングリス（NSK製LG2）に替えた-C仕様で発塵量を抑える（クリーン度は保証しない）
• 中央精機: 一部を除きクリーングリス仕様に対応（クリーン梱包・組立環境は非対応）

クリーン度のクラスが決まっている工程では、グリース変更だけで足りるかを必ず確認してください。ケーブルの屈曲による発塵も、ステージの構造で変わります。

ボールねじの精密位置決めテーブル

速度よりも剛性と精度を重視する軸では、ボールねじのテーブルが使われます。公式の製品情報です。

• 日本トムソン TE: 高強度アルミ合金、精密ボールねじ、潤滑部品Cルーブ内蔵で長期メンテナンスフリー
• 日本トムソン TX: リニアローラウェイスーパーXとフルクローズドループ制御で、高い精度が要る位置決め用途に
• 神津精機: 研削ねじ・ボールねじの自動ステージ。スケール追加でフルクローズド化
• コムス: ACサーボモータ、シャフトモータ、ステッピングモータの高精度自動ステージ

日本トムソンは、直動案内とボールねじに潤滑部品を内蔵して給油の工数を減らすと説明しています。量産装置では、保守の間隔も比較点に入れてください。

アライメントと多軸の位置合わせ

ウェハやパネル、部品の位置を合わせるアライメントでは、XYθの多軸ステージを使います。公式の製品例です。

メーカー	製品	公式の記載
日本トムソン	アライメントステージSA	リニアモータ駆動タイプ
神津精機	自動XYθステージYRA-070〜YRA-200	薄型。最薄はXYθの組み合わせで厚さ55mm
神津精機	自動6軸アライメントステージSMR-6B2	カメラモジュールの生産装置に数多く採用
ヒーハイスト	XYθステージ（アライメントステージ）NAF3シリーズ	超薄型、XY±2〜±5mm・θ±2〜±3°、静止時負荷容量200N〜6000N。導入事例に半導体製造装置・検査装置、LCD・ELパネル製造・検査装置

神津精機は、薄型ステージを小型液晶パネルや電子部品のアライメント、画像処理装置・検査装置の位置決めに向くと説明しています。装置の高さに制約がある場合は、薄型の製品から探してください。

精度の根拠を出荷時に確かめる

量産装置では、ステージ1台ごとの精度のばらつきが装置の性能のばらつきになります。出荷時の精度を確かめる仕組みを公式に書いているメーカーです。

• コムス: 自動ステージ全製品に検査成績書を無料添付。購入前に代表検査データの提供も可能
• 神津精機: 自動ステージは標準検査項目を定めて全数精度測定。出荷品はスペック内の精度保障範囲
• 中央精機: 標準付属品に検査合格証

受け入れ検査の手間を減らすためにも、成績書の項目と測定方法を事前に確認してください。装置の仕様書と同じ項目で測ってもらえると、比較が簡単です。

長期の供給と保守を確認する

半導体装置は、同じ機種を何年も生産します。ステージの供給と保守が続くかは、選定の大事な条件です。

• 型式の供給予定と、仕様変更の連絡の方法
• 修理と部品の供給体制（THKプレシジョンはTHKグループで国内すべての地域に対応と記載）
• OEMでの供給（メステックは継続的に10年以上供給しているOEM製品もあると記載）
• 生産終了品の扱い（駿河精機は生産終了品の検索を案内）
• 後継機の寸法互換（取り付け穴や高さが変わらないか）
• 修理の期間中に使う代わりのステージを用意できるか

量産の段階で別の型式に変えると、装置の再評価が必要になります。採用の前に、供給の見通しを文書で確認してください。

装置メーカーが問い合わせる前に用意すること

最後に、装置メーカーがステージを相談するときに用意したい情報をまとめます。

1. 軸構成、ストローク、速度・加速度、タクトタイム
2. 繰返し精度、位置決め精度、真直度などの要求値と測定方法
3. クリーン度のクラス、使用環境の温度
4. 載せるものの重さ、取り付けの寸法と高さの制約
5. 年間の台数、供給期間、保守の要望

これらを1枚の仕様書にまとめて、2〜3社に同じ条件で見積を依頼してください。コムスのように無料で図面を作るメーカーもあり、仕様の詰めを手伝ってもらえます。