THKプレシジョン株式会社

THKプレシジョン株式会社の位置決めステージ

THKプレシジョンは東京都大田区羽田旭町に本社を置く、THK株式会社が筆頭株主のステージメーカーです。2002年1月に設立し、従業員は21名（2026年1月現在）。科学技術振興事業団のプレベンチャープロジェクトを経て設立したと沿革に記載しています。

事業内容は、圧電アクチュエータを利用した精密位置決め装置などの開発・製造・販売です。超精密位置決めピエゾステージは1nmの超高分解能とミリ秒の高速応答をうたい、半導体・FPD関連装置、AFM、HDD検査などを用途に挙げています。数十mmの可動全域をナノレベルで位置決めするスケール内蔵のピエゾモータステージ、対物レンズのフォーカシングポジショナ、ミラーチルト、加工用ステージ、コアレスリニアモータのロングストロークステージもあります。

日本製・自社開発のステージメーカーとして、要件に合ったカスタマイズを1品から設計製作すると公式に書いています。問い合わせは地域のTHK営業所でも受け付けます。価格は公式に記載がありません。

THKプレシジョン株式会社の特徴

超精密位置決めピエゾステージ: 1nmの超高分解能とミリ秒の高速応答

用途: 半導体・FPD関連装置、AFM、HDD検査、分析機器、光通信・計測

日本製・自社開発のステージメーカーとして、カスタマイズを1品から設計製作

国内すべての地域をTHKグループで対応。地域のTHK営業所に問い合わせ可能

事業内容: 圧電アクチュエータを利用した精密位置決め装置等の開発・製造・販売

カスタマイズは最初の打ち合わせの要望仕様をもとに初回構想図案を提示し、追加・修正を経て最終図に。必要に応じて技術担当者が同席

フォーカシングポジショナの用途: 干渉応用計測、画像処理、半導体・FPD検査、レーザ加工、細胞観察。ミラーチルトの用途: レーザ光走査、キャビティ調整、光バイオ、レーザ加工

リニアモータステージは低速リップルが小さく優れた速度安定性と高い位置決め精度を備えたコアレスリニアモータ採用の精密ロングストロークステージ

ピエゾモータステージ: 数十mmの可動全域をナノレベルでポジショニング、スケール内蔵で高い位置再現性の長ストローク高精度ステージ

サポートページに「テスト機貸出」の案内

主な主な製品と仕様

主な製品と仕様	種類	備考
超精密位置決めピエゾステージ	ピエゾ（圧電）	1nmの超高分解能、ミリ秒の高速応答
ピエゾモータステージ	ピエゾモータ	数十mmの可動全域をナノレベルで位置決め、スケール内蔵（2018年商品化）
フォーカシングポジショナ	ピエゾ	顕微鏡・検査装置のレンズフォーカス
ミラーチルト	ピエゾ	サブμrad分解能
加工用ステージ	ピエゾ	ダイヤモンドバイト微細送り、FTSなど
リニアモータステージ	コアレスリニアモータ	精密ロングストローク
マイクロフォースセンサ	センサ	mgの微小な力の検知

基本情報

所在地	〒144-0042 東京都大田区羽田旭町10-11 MFIP羽田102
設立	2002年1月10日
資本金	5,000万円
従業員数	21名（2026年1月現在）
電話	03-5735-5086
駆動方式	ピエゾ（圧電）、ピエゾモータ、コアレスリニアモータ
真空対応	記載なし
クリーン対応	記載なし
特注	カスタマイズを1品から設計製作
価格の記載	記載なし（見積）
デモ	テスト機貸出の案内あり（条件は今回確認していない）
公式サイト	https://www.thkprecision.co.jp/

まとめ

THKプレシジョン株式会社の位置決めステージについて、公式サイトの記載をもとに整理しました。条件は案件ごとに異なるため、公式サイトから直接お問い合わせください。用途別のおすすめは3選ページでも紹介しています。