位置決めステージ
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顕微鏡の観察と検査、光学実験と光ファイバ調芯、真空チャンバーと放射光、半導体装置への組み込み、ナノメートルの微動、重量物のアライメントなど、用途ごとに合う方式とメーカーを整理します。
- 重量物の位置合わせとアライメントに使うステージ｜耐荷重・剛性・XYθ・チルトで選ぶメーカー【2026年版】重いワークの高さや傾きを調整したい、装置の中で部品をXYθで位置合わせしたい。こうした用途では、精度だけでなく耐荷重と剛性がステージ選びの中心になります。掲載メーカーの公式情報から、使える製品と確認点を整理しました。2026年10月1日
- 顕微鏡の観察と外観検査に使う位置決めステージ｜XYスキャニング・透過穴・フォーカスで選ぶメーカー【2026年版】顕微鏡やマイクロスコープでウェハや電子部品を観察・検査するときは、XYの移動、試料の透過、フォーカスの3つでステージを選びます。掲載メーカーの公式情報から、使える製品と選び方を整理しました。2026年10月1日
- ナノメートル単位の位置決めにピエゾステージを使う｜分解能・ストローク・制御方式で選ぶ国内メーカー【2026年版】AFMや干渉計、超精密加工のようにナノメートル単位で位置を決めたいときは、ピエゾ（圧電）ステージを使います。掲載メーカーの公式情報から、国内でピエゾステージを作るメーカー、製品の種類、制御方式と特注の選び方を整理しました。2026年10月1日
- 光学実験と光ファイバ調芯に使う位置決めステージ｜手動・電動・ゴニオ・チルトを研究室でそろえる【2026年版】レーザーや光ファイバを使う研究室では、レンズやミラー、ファイバの位置と角度を細かく合わせる必要があります。掲載メーカーの公式情報から、光学実験と調芯に使うステージの種類と、メーカーの選び方を整理しました。2026年10月1日
- 半導体・FPDの製造装置と検査装置に組み込む位置決めステージ｜リニアモータ・クリーン・精度保証で選ぶ【2026年版】半導体やフラットパネルディスプレイの製造装置・検査装置にステージを組み込むときは、速度、クリーン度、精度の保証、長期の供給が選定の軸になります。掲載メーカーの公式情報から、装置組み込み向けの製品と選び方を整理しました。2026年10月1日
- 真空チャンバーと放射光実験の位置決めステージ｜真空対応品・導入機・ゴニオメータで選ぶメーカー【2026年版】放射光施設や表面分析、薄膜の研究では、真空チャンバーの中で試料や光学素子を動かします。掲載メーカーの公式情報から、真空で使えるステージ、真空外から動かす導入機、納入実績の見方を整理しました。2026年10月1日
【用途別】位置決めステージメーカーおすすめ3選
標準品を、精度の数字と価格で比べて選ぶなら
中央精機株式会社
高精度高剛性ステージは繰り返し精度±0.0005mm。手動から自動まで仕様と価格を製品ページに掲載
手動ステージ（X・XY・Z・回転・傾斜など）と自動ステージ（アライメント・マイクロスキャニング・クロスローラほか）を標準品でそろえる。高精度高剛性ステージALS-903-H1S-BKは移動量±15mm、ボールねじ駆動、分解能0.002mm、繰り返し精度±0.0005mmと公式に記載。FAQで真空はグリース変更等、クリーンルームはクリーングリス仕様で対応可能、特注は検討可能と回答。
真空チャンバーや放射光の実験で動かすなら
神津精機株式会社
真空対応位置決めステージを標準でそろえ、SPring-8や高エネ研などへの納入実績
精密・自動・手動のX/XY、Z、回転、スイベル、アライメントに加え、真空対応位置決めステージを持つ。FAQで、通常の中・高真空環境なら1×10-3Paまでまず問題なく到達し、環境によっては10-5Pa台の実績と説明。自動ステージは全数精度測定し実力値を公開。主要納入先にSPring-8、高エネルギー加速器研究機構、理化学研究所、東京エレクトロン、ディスコなど。
ナノメートル単位で動かす装置を、1品から特注するなら
THKプレシジョン株式会社
ピエゾステージは1nmの超高分解能をうたう。THKグループで、カスタマイズを1品から
圧電アクチュエータを利用した精密位置決め装置の開発・製造・販売を事業とし、超精密位置決めピエゾステージは1nmの超高分解能とミリ秒の高速応答をうたう。フォーカシングポジショナ、ミラーチルト、加工用ステージ、コアレスリニアモータのロングストロークステージもそろえる。日本製・自社開発のステージメーカーとして、カスタマイズを1品から設計製作すると公式に記載。