3比較ハブクリーンブース

クリーンブース · 用途別

半導体・電子部品のクリーンブース｜ISO5の層流型、イエロー・暗室カーテン、静電気、クリーンルーム内での局所化

半導体・液晶・電子部品・精密機器の工程に置くクリーンブースを、高い清浄度を出す層流型、露光工程向けのイエロー・暗室カーテン、帯電防止の材料、クリーンルームの中での局所化、入口のエアーシャワー、ISOクラス1の開放式まで、掲載メーカーの公式記載で整理します。

公開 2026年10月1日

半導体や電子部品の工程では、微粒子が歩留まりを左右します。このページでは、精密な工程にクリーンブースを置くときの選び方を、メーカーの公式な記載をもとに整理します。

電子・精密の工程で求められること

プレシードは、半導体や電子部品、液晶などの製造で、歩留まりと品質を大きく左右する要因の一つが工場や装置内のパーティクルだと書いています。電子・精密の工程でクリーンブースに求められることを並べます。

  • クラス100（ISO5）前後の高い清浄度
  • 露光工程などでの紫外線対策
  • 静電気を起こしにくい材料
  • 装置や工程の変更に合わせた移設・連結
  • 入口での人の除塵

高い清浄度を出す型

クラス100（ISO5）以上を公式に書いている型を並べます。置き場所の条件つきの値もあるので、条件もあわせて見てください。

メーカー・型公式の清浄度特徴
日本エアーテック MCB06-262820A5ISO5(クラス100)全面層流型、約120m³/min、循環回数約470回／時
日本エアーテック MCB06-303020D5ISO5(クラス100)拡散層流型、約88m³/min
アクティブ 鋼板製クラス100キャスターで移動、連結も可能
SCREEN SPE サービスクラス100〜10,000鋼製骨組、FFUはHEPA（99.97%以上）
奥野技術研究所ISO 4（クラス10）（クリーンルーム内設置）〜ISO 8ダウンフロー、温湿度の相談も可
村津産業クラス10から100,000パネルブースとビニールブース

奥野技術研究所のISO 4は、クリーンルームの中に置いた場合の値です。一般の工場の中に置く場合とは条件が違うので、置き場所を伝えて相談してください。

露光工程のイエロー・暗室

リソグラフィや露光の工程では、紫外線を遮るカーテンが必要になります。公式に選べると書いている会社を並べます。

メーカー公式の記載
SCREEN SPE サービスビニールカーテンは帯電防止仕様で、透明、イエロー、暗室タイプから選択
松定プレシジョンイエロークリーンブース（リソグラフィ・露光・描画装置を囲って紫外線対策）、パネル式・フィルム式の暗室クリーンブース
トヨシマ電機紫外線カット、暗室仕様にも対応
伸榮産業組立式暗室クリーンブース（KCB-L系）
コトヒラ工業特殊カーテン（UVカット、暗幕等）に変更可能

静電気を起こしにくい材料

電子部品の工程では、ブースの材料が静電気を起こすと、粒子を引き寄せたり部品を傷めたりします。公式に書かれている帯電対策の材料を並べます。

  • 帯電防止ビニールカーテン: 日本エアーテック、トヨシマ電機、ホクト総研、SCREEN SPE サービス、奥野技術研究所ほか
  • 制電PVC: 蒲田工業はブース周囲に制電PVCを使用
  • 静電ビニール貼込: 村津産業
  • 導電性の樹脂被覆鋼管: 伸榮産業の組立式KCB
  • イオナイザー: SCREEN SPE サービスはブースにイオナイザーを設置できる

松定プレシジョンは、クリーンブースの用途に静電気による異物の付着防止や、電子部品の組立て工程での異物混入防止を挙げています。帯電が問題になる工程では、カーテンの材料とイオナイザーを組み合わせて考えてください。

クリーンルームの中で局所化する

精密工場では、クリーンルームの中にブースを置き、装置の周りだけ清浄度を上げる使い方がよくあります。蒲田工業は、部屋全体を低い清浄度にして重要な箇所だけを高清浄度にするミニエンバイロメントの考え方を紹介しています。

メーカークリーンルーム内での使い方（公式記載）
蒲田工業クリーンルーム内で局所的にクリーン度を向上させたい要望に合わせ、壁・天井面をフラットにして埃だまりを防ぐ
トヨシマ電機クリーンルーム内でもクリーンブースを併用することで局所的に必要なクラスを得られる
奥野技術研究所クリーンルーム内にクリーンブースを設置し、一部の清浄度をさらに高くする方式

入口のエアーシャワーと連結

人の出入りが多い工程では、ブースの入口にエアーシャワーを付けると清浄度を保ちやすくなります。広い範囲が要る場合は、ブースの連結も検討します。

  • SCREEN SPE サービス: 入口のエアーシャワー設置で入退室を前提とするクリーンルームにも。連結で広い環境やレイアウト変更に対応
  • 日本エアーテック: 出入口にエアーシャワーを設置できる
  • 松定プレシジョン: エアシャワー付クリーンブースをラインナップ
  • アクティブ: 鋼板製は連結して使用できる

ISOクラス1が必要な場合

非常に高い清浄度が必要な工程では、壁で囲うブースとは方式の違う装置も候補になります。興研のKOACHは、プッシュフードを対向させて開放された環境に清浄度クラス1の空間をつくると説明しています。

  • 全機種ISOクラス1（ナノファイバーフィルタFERENA搭載）
  • ルーム型と卓上型があり、ルーム型は移動・拡大縮小が可能
  • 半導体業界でクリーンデバイスとして認知度が高まっていると記載
  • KOACHショールーム（飯能・名古屋・大阪・広島・熊本など）で体感できる

清浄度で変わる風量と電気

高い清浄度のブースほど、送る空気の量と電気が増えます。日本エアーテックのMCBは、型式ごとに風量と設備電力を公開しているので比べやすくなっています。

型式（日本エアーテック）清浄度処理風量設備電力
MCB06-262820A5（全面層流型）ISO5約120m³／min約1100VA
MCB06-303020D5（拡散層流型）ISO5約88m³／min約1200VA
MCB06-303020T6（乱流式）ISO6約25m³／min約450VA

必要以上に高い清浄度を指定すると、電気代とFFUの台数が増えます。工程ごとに必要な清浄度を見直し、層流型が要る場所を絞ると費用を抑えられます。

半導体関連の会社に頼む

半導体の工程では、装置や工場の事情を知っている会社に頼むと話が早く進みます。半導体関連の事業を公式に書いている掲載メーカーを並べます。

  • SCREEN SPE サービス: SCREENセミコンダクターソリューションズの100%出資会社。クリーンブースのほか純水昇圧ユニットや排気スクラバーユニットなどを製品情報に掲載
  • プレシード: 半導体関連装置、液晶関連装置、産業用インクジェット関連装置を手がけ、クリーンブースの設置・導入も行う
  • 興研: KOACHは半導体業界でクリーンデバイスとして認知度が高まっていると記載

パネル式で囲う選択肢

装置の周りを長く使う場合は、ビニールではなくパネルで囲むと、見た目と気密が良くなります。電子・精密向けにパネル式を持つ会社を並べます。

  • 松定プレシジョン: パネル式クリーンブースは頑丈で簡易クリーンルームになると説明
  • プレシード: 115パネルブース
  • 村津産業: アルミサンドイッチパネルと透明樹脂板のパネルブース

電子・精密の工程で候補を絞る順番

電子・精密の工程では、清浄度と特殊な仕様の両方を満たす会社から当たると早く決まります。次の順番で絞ってください。

  1. 必要な清浄度と、ブースを置く場所（一般環境かクリーンルーム内か）を決める
  2. ISO5以上なら層流型の型式を持つ日本エアーテックなどから比べる
  3. 露光工程ならイエロー・暗室を選べるSCREEN SPE サービス、松定プレシジョンを加える
  4. ISOクラス1級が要るなら興研のKOACHを体感して比べる
  5. 連結や移設の予定と、入口のエアーシャワーの要否を伝えて見積を取る

この記事に出てくるメーカー

参照元

よくある質問

半導体の工程にクラス100のクリーンブースは作れますか？

公式にクラス100（ISO5）を書いている型があります。日本エアーテックのMCB（全面層流型・拡散層流型）、アクティブの鋼板製、SCREEN SPE サービス（クラス100〜10,000）などです。

露光工程用のイエローのクリーンブースはありますか？

SCREEN SPE サービスはカーテンを透明・イエロー・暗室から選べ、松定プレシジョンはリソグラフィ・露光・描画装置向けのイエロークリーンブースを用意しています。トヨシマ電機も紫外線カット・暗室仕様に対応します。

クリーンルームの中にクリーンブースを置く意味はありますか？

あります。トヨシマ電機は、クリーンルーム内でもブースを併用することで局所的に必要なクラスを得られると説明しています。奥野技術研究所は、クリーンルーム内に置けばISO 4（クラス10）まで対応すると書いています。

【用途別】クリーンブースメーカーおすすめ3選

※2026年10月時点の公式サイト情報をもとに編集チームが選定。選定基準。

1イチオシ

価格を見て、できるだけ早く入れたいなら

トヨシマ電機株式会社

即納品は在庫があれば1週間程度。税込価格を型式とサイズごとに公開

即納対応品TBU-Aシリーズはクラス10,000の3サイズで在庫があれば1週間程度、オーダーメイドのCBシリーズとサイズ変更対応のTBU-Bシリーズは最短2週間程度と公式に書いている。価格例を税別・税込の両方で公開し、TBU-Aの1,500角は195,000円（税込214,500円）、CBの3000W×2000D×2000H・クラス10,000は409,000円（税込449,900円）。

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2

ISO5などの高い清浄度を、型式の数値で比べて選ぶなら

日本エアーテック株式会社

全面層流型のISO5から乱流式のISO7まで、風量と循環回数を型式ごとに公開

アルミ型クリーンブースMCBはISO5(クラス100)、ISO6(クラス1,000)、ISO7（クラス10,000）などに対応し、全面層流型MCB06-262820A5はISO5で処理風量約120m³/min・循環回数約470回／時、乱流式MCB06-303020T7はISO7で約15m³/min・約50回／時と公開している。主要部品の標準化・在庫化で短納期を実現したと書く。

日本エアーテック株式会社の公式サイトへ当サイトの紹介を読む

3

防爆・空調付き・装置囲いなど、既製品に合わない特殊仕様なら

蒲田工業株式会社

富士・三重の自社工場でアルミフレームを加工し、完全オーダーメイドで施工

現地測量・設計からアルミフレームの加工・切断、施工まで一括で請け負うと書き、清浄度はクラス100〜100000（ISOクラス5〜8）。空調付き、ステンレス製、防爆、防塵・防虫、射出成形機用、フィルム巻取り用、包装機用、充填用のブースとマシンカバーをラインナップしている。

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