ムサシノ電子株式会社

ムサシノ電子株式会社のCMP装置

ムサシノ電子は、精密加工用の研磨装置、切断機（ダイヤモンドワイヤーソー、ブレードソー）、スクライバーを製造してきた会社で、所在地は東京都武蔵野市吉祥寺東町です。半導体、セラミックス、光通信などの研究開発分野に多くの納入実績があると書き、特注設計・カスタマイズ品の製造も行っています。

精密研磨装置（MA-200e、MA-300e、MA-400e、MA-150など）は、試料保持ユニットと試料ホルダーを選んで多様な形状のサンプルを研磨する装置です。研磨盤・研磨剤を適切に選べば、荒削りから鏡面仕上げ、CMP（化学機械研磨）まで対応できると説明しています。

ダイヤモンドラッピング方式では、平坦度λ/10以下、表面の荒さ0.01μm以下の仕上がりが可能とし、装置の面ブレは5μm以内に仕上げています。X線回折装置に取り付けられる二軸ゴニオメータ付きの治具で、結晶方位を直しながら研磨することもできます。

ムサシノ電子株式会社の特徴

研磨盤・研磨剤を適切に選択することで、多様な材質の試料を荒削りから鏡面仕上げ、CMP（化学機械研磨）まで研磨加工に対応可能

ダイヤモンドラッピング方式: 平坦度λ/10以下、表面の荒さ0.01μm以下の仕上がりが実現可能

研磨装置の面ブレは5μm以内となるよう仕上げ

標準仕様のホルダーで対応できない異形のサンプルも特注製品で加工可能

eタイプ（MA-200e、MA-300e、MA-400e）は研磨盤の平面度を修正するアタッチメントを搭載可能

二軸ゴニオメータ付き研磨治具（結晶方位の修正及びオフアングル用）、真空チャック式ホルダー

半導体、セラミックス、光通信などの研究開発分野において多くの納入実績と記載。特注設計・カスタマイズ製品も製造

主な主な装置・サービスと仕様

主な装置・サービスと仕様	種類	備考
MA-200e／MA-300e／MA-400e	精密研磨装置	研磨盤平面度修正アタッチメント対応
MA-150	精密研磨装置
試料ホルダー・研磨治具	二軸ゴニオメータ付き、真空チャック式など

対応分野・事例

• 半導体、セラミックス、光通信などの研究開発分野に納入実績（公式記載）

基本情報

所在地	東京都武蔵野市吉祥寺東町1丁目17番18号 三角ビル3F
電話	0422-27-6683
区分	装置メーカー
装置の形態	卓上の試料研磨装置
対応ウェハサイズ	記載なし
研磨対象	多様な材質の試料（荒削り〜鏡面、CMPまで）
研究開発・受託	研究開発分野向け。特注設計あり
価格の記載	記載なし
公式サイト	https://www.musashino-denshi.co.jp/

まとめ

ムサシノ電子株式会社のCMP装置について、公式サイトの記載をもとに整理しました。条件は案件ごとに異なるため、公式サイトから直接お問い合わせください。用途別のおすすめは3選ページでも紹介しています。